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PR循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替作業不要…
ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ1台で-100℃~+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式:混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式:電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 ◎循環量:10~20L/min ◎揚程:10~15m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マック
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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小型のチタン製ダイヤフラムの圧力センサで、耐腐食性に優れ圧力レンジは0…
ST/Tiシリーズはダイヤフラムにチタンを使用した二重ダイヤフラム構造で耐腐食性に優れほとんどのガス、液体に使用できます。耐久性に優れ、温度補償回路内蔵しているので厳しい環境での使用が可能です。 ST/TIシリーズは小型のゲージ圧で0~20kPaから1000kPaまでの各レンジ、連成圧は±10kPa、±100kPa、真空圧は0~-100kPaの豊富な種類を準備しています。 接続継手はR1/4を...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル225は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...デッドスペースが1.8mLと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はSUS316LのVAR材を0.18Raの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーに...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル224は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル224はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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