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フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミ…
(有)フロステックのガラスエッチング剤は全て自社開発です。 ●フッ酸は使用していません。また、フッ化物の使用量も低減しています。 ●様々なガラス種、ソーダガラス、再生ガラス、クリスタルガラス、セミクリスタルガラス、強化ガラス、無アルカリガラス、アルミノシリケートガラス、石英ガラス、ホウ珪酸ガラスに対応するエッチング剤があります。 ●ガラスエッチング剤には、ガラス表面に微細な凹凸を付与する...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロステック
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エッジのダレが無く、介在物の脱落も無いためEPMA等での評価に適してい…
『MA-200』は、精度が高く、研究開発用の試料作製に好適な精密研磨装置です。 試料に合わせた研磨盤・研磨剤を使用することでより良い研磨面が得られ、 研磨精度は平坦度λ/10以下、表面粗さ0.01μm以下を実現。 また、ICの断面、傾斜研磨、LN等の光学結晶の端面の研磨にも適しております。 【特長】 ■精度が高く、研究開発用の試料作製に好適 ■試料に合わせた研磨盤・研磨剤を...
メーカー・取り扱い企業: ムサシノ電子株式会社
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロングストロークの高速搬送に最適
ることで、 3mの搬送距離と2m/sの仕様条件を省スペースで実現しました。高速・ロングストローク対応のため、設計工数・組立工数の削減が可能です。搬送部でロングストローク・高速移動が必要な、 ガラスエッジ加工装置でも採用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、2D・3DCAD、対応制御機器、仕様・寸法図など、技術情報を多数準備しておりま...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば…
ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構 高精度XYθウエハステージ ウエハ湾曲機構及びXYステージ アライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器 イオナイザー マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)] UV光源 デジタルカメラ モールドサイズ:□22mm, □50mm, □75mm(有効は70~72mm角) (石英、厚み6.35mm台形) ウエ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ライズワン
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医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能(本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています)...ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm(ガラス)(※その他サイズ、マイクロプレートも対応可) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応 ■2~12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能(例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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