大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

クリーンカップリングシリーズ『チェックバルブNCV型（SUS）』

PR逆圧や漏れに強いシンプル構造の流体継手！シール材質が選択可能で、配管の…

当社はカップリング・パイプクランプを幅広く製造している専門メーカーです。 ラインアップのひとつ『SUS製 チェックバルブ NCV型』は、 逆圧や漏れに強い、半導体・薬液・液晶・理化学用の製品です。 流体の流れを一定方向に保ち逆流を防止。用途に応じてネジ形状やシール材質が 選択可能で、両オネジタイプはネジ部が配管内に収まるため、省スペース化を図れます。 設計から製作まで対応でき、少...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニューマシン

超純水用フィルター『トリンジック UPW』

15 nm、20 nm、0.1 μm、0.2 μmの粒子除去が可能な高…

『トリンジック (Trinzik) UPW』は、設備および装置で使用する超純水の高性能ろ過向けに設計されたクリーン度の高いフィルターです。 ディフェクトの原因となる粒子を除去する信頼性の高い高流量対応のフィルターで、半導体、ハードディスクドライブ製造、フラットパネルディスプレイ(LCD、LED、OLED...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

オプチマイザーV47 フィルター

ディスポーザブルタイプのディスクフィルター

クリーンな環境で製造されたディスポーザブルフィルターです。シリンジに取り付けても使用でき、スクリーニングや少量サンプル向けに適しています。...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルター

1つのユニットで純水中の金属不純物と粒子の両方を除去

1つのユニットで金属イオンと微小粒子の両方を除去。 清浄度が重要となる純水洗浄のアプリケーションにおいて優れた流量と汚染物質に対する除去性能を発揮します。 極めてクリーンな製品設計により、低温、高温(それぞれLT、HT シリーズが対応) いずれの温度範囲においても迅速な立ち上げと歩留まりの向上を実現します。 プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルタ...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

希酸/希アルカリ用超精密ろ過フィルター『トリンジック HCE』

高純度な希酸/希アルカリの薬液ろ過用親水性フィルター

ンブレン ■小孔径のメンブレン設計 ■メンブレンを除く構成部材がポリプロピレン(PP) ■高流量性能を実現し、運用コストを削減 ■高度な粒子除去により歩留まりが向上 ■抽出物が低減され、クリーンなろ過が実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

溶剤用超精密ろ過フィルター『トリンジック HCO』

20 nm、0.05 μmの粒子除去が可能な溶剤処理用フィルター(疎水…

■20 nm, 0.05 μｍ ■メンブレン: PTFE、その他の構成部材:ポリエチレン ■高流量を実現し、運用コストが削減可能 ■優れた粒子除去性能 ■フィルターからの抽出物が少なく、クリーンなろ過を実現可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

ウェハーガード インラインガスフィルター

ウルトラクリーン用途に適した高性能・高品質

超高純度プロセスガスの供給ライン向けにデザインされた高性能ガスフィルターです。 0.003µm以上のガス中の微粒子を99.9999％以上、除去します。 初期清浄度が高い高品質な製品仕上げ。 ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしています。...【主な仕様】 材質：　フィルターメディア ニッケル、SUS316L、PTFEの3種類 　　　　　ハウジング SUS316L 接続：　ＶＣＲまた...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

溶剤/希酸/希アルカリ用超精密フィルター『トリンジック HCM』

高純度な溶剤、希酸、希アルカリの薬液ろ過用フィルター (疎水性)

ンブレン ■小孔径のメンブレン設計 ■メンブレンを除く構成部材がポリプロピレン(PP) ■高流量性能を実現し、運用コストを削減 ■高度な粒子除去により歩留まりが向上 ■抽出物が低減され、クリーンなろ過が実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社