近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

高気密性　「ガス供給ユニット」

半導体用特殊材料ガス等、各種ガスを供給しメンテナンス性等を考慮した装置

高気密性「ガス供給ユニット」は、半導体用特殊材料ガス等、各種ガスを供給する装置です。ボンベボックスを始めとし各種ガスの供給配管、自動供給、気密性、クリーン度、安全性、メンテナンス性等を考慮した装置となっております。取扱い時の安全性が高く、十分なクリーン度を保ちます。供給配管の高い気密性を保ち、ガス漏洩検知器等お客様に合わせたオプションを準備しており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホクエツ