『千石 グラファイトヒーター』

PRわずか0.2秒で瞬間発熱。最高1300℃まで素早く昇温。効率よくあたた…

『千石 グラファイトヒーター』は0.2秒で発熱し、 液体等のあたためを効率よく行える製品です。 最高1300℃まで短時間で昇温するため、 暖房機器や調理機器など幅広く利用できます。 熱を一方向に集約させられる強い指向性があり、 熱の分散を防いで高効率で熱を伝えることもできます。 【特長】 ■2μmの高い放射強度 ■設計自由度が高く、発熱部位を自由に変更可能 ■電源を切...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社千石

高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保護しま...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

サーマルレベラー（温度分布改善技術）

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改…

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトとメタライズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。 ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。 【用途】 ■ヒータの温度分布と寿命の改善 ■ヒータの薄型、軽...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』

PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ…

『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロセスの蒸着源として使用されています。 【特徴】 ●高純度で長寿命 ●非常に少ないアウトガス ●既存セラミックス製エバポレーターとの置き換えが容易 ●アルミニュウム蒸着膜の品質と厚みの安定...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社