ゲート | イプロスものづくり

PR守衛の無人化・省人化は、当社の【セキュリティゲートシステム】で解決でき…

工場や施設の出入口で車両や人の出入りを管理する守衛業務。近年、人手不足による人員の確保が問題視されております。少ない人員で数ヵ所の出入口を管理することは、時間と労力を要します。そこで、出入口の入退管理を機械化することで、少人数での管理を可能にするだけでなく、出入口のセキュリティを強化することもできます。弊社では人と車の通行をそれぞれ専用ゲートで管理・規制することで、守衛の無人化・省人化の実現をご提...

メーカー・取り扱い企業：パブリックシステム株式会社

IP68 完全防水ボックス WGシリーズ

PR水深1メートル・24時間水没に耐える完全防水ボックス。5G時代の屋外通…

水深1メートルに24時間水没に耐えるIP68の高防水型プラスチックボックスです。紫外線による変色、劣化のしにくいASA樹脂製です。 ※耐候性(たいこうせい)とは、プラスチックや塗料等の高分子材料が、屋外で使用された場合に、変形、変色、劣化等の変質を起こしにくい性質の事です。スッキリした外観なので、屋外/屋内ともに場所を選ばず設置出来るデザインです。カバー取付ビスは落下防止タイプの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タカチ電機工業

ウェイゲートテクノロジーズ　産業用X線CTシステム　製品カタログ

3D計測や欠陥解析など。充実したオプションを備えたウェイゲートテクノロ…

当資料は、生産性と効率を向上させながら、それぞれの評価要件を満たすことができる工業用X線CTシステムの製品カタログです。高分解能(nanoCT)の「Nanotom M 180」をはじめ、柔軟性の高い「V|tome|x L300/L450」や、汎用性のある優れた精度の「V|tome|x M300」などを掲載しています。 3D計測や欠陥解析のご要望を満たすよう、充実したオ...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

検証サービス

様々な形で検証にまつわるサービスを提供しています

当社では、ASICやアンチヒューズFPGAといった、ミスの⾒落としが許されないデバイスでの開発を成功させてきた当社だからこその、質の高い検証サービスをご提供しております。工数を抑え、無駄な手戻りを減らすのに有効な検証の自動化や、検証を確実にする第三者検証をご提案いたします。「検証を、より確実な物にしたい」「検証工数がどんどん肥大化して困る」もしそういったお悩みをお持...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プライムゲート山口LSIセンター

TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

ることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】流動解析とは？解析方法5種類を紹介！

ゲート位置や金型構造の妥当性を主にアニメーション形式で事前に確認可能で…

『流動解析』は、形状検討時、製品の成形性を検証でき、予測される不具合が事前にわかります。検証した、樹脂の配向や充填時圧力分布やガスベント予測などの解析結果から、金型設計、製品取り出しなどに活かすことが可能。「充填解析」をはじめ、「保圧冷却解析」や「繊維配向解析」、「ソリ変形解析」、「金型冷却解析」があります。【特長】 ■充填解析：流動パターンからウエルドの位置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゲートジャパン

【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

基板側からSIMS分析（SSDP-SIMS）を行うことで、表面の凹凸・スパッタに伴う表面側高濃度層からのノックオンの影響を受けない測定が可能です。ゲート電極（BドープPoly-Si）から基板へのボロンの突き抜け量を評価しました。基板側からの測定ではノックオンなどの影響が見られず、より正確な突き抜け量評価が可能であることがわかります。このように、バ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価

膜厚・密度・結合状態を評価

SiCパワーデバイスは、電力損失を抑え、小型で大電力を扱える電力変換素子として期待されています。デバイスの特性を向上させるために必要なゲート酸化膜の膜厚、密度をXRR（X線反射率法）および結合状態をXPS（X線光電子分光法）で評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】パワートランジスタ（DMOSFET）の拡散層評価

ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります

市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

非破壊解析技術 3D-CSAM

現象を把握し、解析精度を向上！高さ情報を確認し不具合箇所の詳細を確認

当社で行っている「非破壊解析技術 3D-CSAM」についてご紹介いたします。周波数分解機能および3D-CSAM機能により、現象を把握し、解析精度を向上。超音波による解析は、広めにゲート範囲を設定して、波形および平面画像を取得。また、深さ情報可視化と3D化として、全点波形取り込みデータから3D画像を作成し従来の時間軸映像では検出しにくい部位を立体映像構築します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

産業用X線CT “Vltomelx M 300”

Dual線源を備え幅広いサンプルに対応可能な多機能X線CT

ウェイゲート・テクノロジーズの『vltomelx m300』は、品質検査・科学解析タスク向けの多機能X線CTです。簡単に切り替え可能なナノ(180kV)/マイクロ(300kV)フォーカスX線源を備え、...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【故障解析事例】静電気破壊の再現実験

プラズマFIB装置を用いて断面を観察！広く破壊されている様子が確認され…

D破壊の再現実験を行いました。チップ表面の観察後に、ロックイン発熱解析を行い、微小な故障箇所を特定。プラズマFIB装置を用いて断面を観察した結果、表面のクレーターから、トレンチゲート及びその直下のコレクタ領域まで広く破壊されている様子が確認されました。【故障解析　手順】 ■初動調査（外観観察、電気的特性測定） ■非破壊検査（X線観察、超音波顕微鏡など） ■故...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

ESD/Lu・CDM・GL試験

熊本事業所にて承っております

◇JEITA/EIAJ/JEDEC/EOS/AEC 【装置仕様】　◇最大使用可能ピン数：1024ピン　◇印加電圧　　：　0～±4000V 　　　　　　　　　（5Vステップ) ゲートリーク試験【適合規格】　◇AEC-Q100-006　【試験内容】高温下でICに高電圧を加えることができ、表面実装型のICのゲートリーク（電気的、熱的誘導による寄生ゲート 　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レスター厚木事業所,熊本事業所,大分事業所,鹿児島事業所

2色成形の流動解析技術

効率の良いモノづくりが可能！成形不具合を事前に検証できます

成形シュミレーションにより金型製作前に各事象について予測が出来、効率の良いモノづくりが可能になります。「ウエルド位置の予測」では、ゲートの設定によりウエルドラインの変化が確認でき、「冷却回路位置の予測」では、熱の溜りやすい位置を予測し的確な冷却回路の設定ができます。その他にも「樹脂の溶け出し位置の予測」や「そり変形...

メーカー・取り扱い企業：ユニオン合成株式会社

プラスチック成型・プラスチック金型　樹脂流動解析

潜在的な製造上の不具合を回避し、高品質な製品をより早く市場に投入するこ…

当社ではAutodesk Moldflowを使用して、プラスチック部品、射出成形、および射出成形のプロセスを検証し、最適化するための各種射出成形シミュレーションを行います。肉厚、ゲート位置、材料、形状が製造性に与える影響を調査。実際の製造を行う際にどの様な状況になるのかを把握する事で潜在的な不具合を回避、あるいは既に起きている問題の原因を突き止めることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社フィロソフィー

CT計測システム『Phoenix V|tome|x L 300』

ユニポーラX線管を搭載！高精度・簡単操作のX線CT計測システム

『phoenix vltomelx L300』は、ユニポーラ管により、インジェクションノズルやタービン・ブレードのような透過率が低いサンプルも高倍率アプリケーション同様にスキャンできる装置です。システムの基幹ハードウェアおよびソフトウェア構成は、独自の技術により構築されており、花崗岩ベースのキャビネットは、最大重量50kg、長さ600mm、直径500mmのサンプルのスキャンが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・…

TEM試料加工前に不良箇所近傍にて観察可能　　　　　　　構造により前処理が必要な場合あり・FIB-SEM観察：　クラック・形状異常・拡散層観察（～×50k）・断面TEM観察：　ゲート酸化膜の破壊・転位（～400k）　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

コンパクトCT機器『Phoenix V|tome|x C』

低コストで生産工程向け堅牢かつ省スペース設計！信頼性のコンパクトCT

コンパクトCT機器『Phoenix V|tome|x C』は、生産工程管理向け320/450kV管球搭載コンパクトCT機器です。 3次元スキャニング範囲は最大 500mmØ x 1000mmで、欠陥の場所及びその数を正確に評価することが可能です。低コスト保守メンテナンスで生産工程向けにサンプルの積み下ろし及び、バーコード・リーダー等の機能を搭載。同様に、自動化one-button|C...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

『産業用CTスキャン受託サービス』

内部解析、不良検査など幅広く対応。1点から対応可能。デモ施設も新オープ…

当社では、電子部品や自動車部品、3Dプリント品、バッテリーなどの X線CT測定・解析を行う『産業用CTスキャン受託サービス』を提供しています。樹脂や複合材、金属、セラミック、新素材など材質を問わず、最少1点からご要望に合った測定をご提案。試作品の完成度チェックや不良品の検査、リバースエンジニアリング用の計測、高解像度の断面図・3D画像の提供、各種解析など多種多様なニーズに...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

高解像度3Dナノフォーカス　nanotom

形状のぼやけが極めて少ない高解像度画像を提供するナノフォーカス

Phoenix nanotomは、業界初の180kV nanoCTシステムであり、小型設計であるためスペースが限られた場所でも設置可能！産業用CTスキャナ業界において標準的に使われている解析・可視化ソフトウェア「VGStudioMAX」を使用し、寸法、肉厚、平面度など再構成データの解析、断面画像のJPEG、TIFF、BMP、DICOM出力、外観形状のSTL出力、測定値と設計データとの比較・...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

OBIRCH分析（光ビーム加熱抵抗変動法）

OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗…

て、異常箇所の特定を行う手法です。・配線やビア内のボイド・析出物の位置を特定可能。・コンタクトの抵抗異常を特定可能。・配線ショート箇所を特定可能。・DC電流経路を可視化。・ゲート酸化膜微小リークを捉えることが可能。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

パワーサイクル試験と特性評価

パワーサイクル試験装置を使用したパワーサイクル試験の受託！故障解析・分…

【装置概要】＜シーメンス（メンター）「PWT2400A」＞ ■加熱用電源600A×4台を装備 ■ゲート用電源-10V～20V×16台を装備 ■最大16chのデバイスを同時に試験 ■JESD51-14に準拠した測定法によるTj測定 ■試験中に自動で過渡熱抵抗測定の実施 ■最高200℃まで対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

CT画像ノイズ低減モジュール『Scatter|correct』

3Dの生産性で2D時と同等の画質！CT計測の速度とデータ精度を強化

『Scatter|correct』は、CT計測の速度とデータ精度を強化する Phoenix CTスキャナオプションの、CT画像ノイズ低減モジュールです。当製品は、コーンビームとファンビームのそれぞれの利点を活用し、高速で、散乱の影響を受けにくい、綺麗な画質を実現します。当製品を使用時には、不明瞭さや筋を低減し、より高いグレイ値の均一性を実現。欠陥認識率が高まり、より高精度...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析

シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です

アモルファスSiNx（a-SiNx）膜は、N/Si比などの組成変化によって半導体から絶縁体まで物性が大きく変化することから、トランジスタ用ゲート絶縁膜など幅広い用途で用いられています。一方、結晶性のないアモルファス構造の材料に対し、原子レベルのミクロな構造解析を行える実験手法は限られているため、シミュレーションによってさまざまな組成、密度...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です

IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)はパワー半導体モジュールとして、家電用品から産業機器まで様々な製品に使用されています。 IGBTは特性改善のためにライフタイム制御が行われていますが、この制御はドリフト層...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TFT配線交差部の深さ方向分析

微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能

二次イオン質量分析法（SIMS）を用いて、市販ＴＦＴ液晶ディスプレイのデータ信号配線とゲート電極配線の交差部（4μm×10μm）を、基板側から分析（SSDP-SIMS）した例を示します。基板側から測定（SSDP-SIMS）を行うことにより、表面側の高濃度層や金属膜などの影響がないデー...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

のラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

コンサルティング業務について

企業の皆様に対しまして、人間工学による人に優しく、また、使いやすいもの…

） ■座って使う（便器、浴槽、椅子等） ■立って・座って使う（畳、介護用設備等） ■立って・背負って使う（ランドセル、バッグ等） ■着て使う（下着等） ■囲って使う（ベビーベッド、ベビーゲート等） ■見て使う（表示物、ディスプレイ、カーナビ、モデルウォーク等） ■聴いて使う（音声ガイダンス、カーナビ、吸音材など） ■認知・判断・操作して使う（予防安全システム等）【評価実...

メーカー・取り扱い企業：株式会社HALデザイン研究所

工業計測器　開発・製造サービス

見えないところで、お役に立ちたい

はお気軽にお問い合わせください。【業務内容】 ■システム技術部門：装置技術、センサ技術、制御技術 ■計測技術部門：環境計測、工業・鉄鋼計測、土木建築計測 ■計算技術部門：CAE解析、ゲートのFEM解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：計測エンジニアリング株式会社

プラスチック成型・プラスチック金型　樹脂流動解析

幅広い部品形状を調査・検証する事が可能！プラスチック部品、射出成形のプ…

の特長】 ■Autodesk Moldflow を使用して、プラスチック部品、射出成形、　および射出成形のプロセスを検証 ■最適化するための各種射出成形シミュレーションを行い、肉厚、　ゲート位置、材料、形状が製造性に与える影響を調査 ■薄肉部品から厚肉およびソリッドの成形品まで、幅広い部品形状を　調査・検証する事が可能 ■実際の製造を行う際にどの様な状況になるのかを把握する事...

メーカー・取り扱い企業：有限会社フィロソフィー

流動解析　受託サービス

樹脂流動解析を用いて、実際に金型を作る前にトラブルを未然に防ぐ！

当社では、流動解析の受託サービスを行っております。指定のゲートレイアウトにて解析を行う“確認解析”と、射出成形用金型設計、プラスチック製品設計、射出成形条件設定における不具合を抽出し、改善策を提案する“詳細確認”の2つのタイプがございます。現...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイシム

【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET（図１）において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました（図２）。分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することか...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【土木構造物の解析なら】汎用構造解析ソフト『ISCEF』

ダム本体や関連構造物等の土木構造物に特化した構造解析ソフト（CAE）で…

る構造物の解析を得意としていますが、汎用性が高く（二次元・三次元問題、静的・動的問題、線形・非線形問題等）一般構造解析においても充分な機能を発揮いたします。ダム本体に限らず付帯構造物である鋼製ゲートやダム取水塔・門柱など様々な構造物に対して実績を保有しております。自社開発の強みを生かし、ご要望に対しての細かなカスタマイズにも対応致します。また、同ソフトを用いた受託解析について...

メーカー・取り扱い企業：センチュリテクノ株式会社

HALデザイン研究所の強み

企業の皆様が新製品を開発し、既存製品の改良を行うことによって、新事業の…

） ■座って使う（便器、浴槽、椅子等） ■立って・座って使う（畳、介護用設備等） ■立って・背負って使う（ランドセル、バッグ等） ■着て使う（下着等） ■囲って使う（ベビーベッド、ベビーゲート等） ■見て使う（表示物、ディスプレイ、カーナビ、モデルウォーク等） ■聴いて使う（音声ガイダンス、カーナビ、吸音材など） ■認知・判断・操作して使う（予防安全システム等） ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社HALデザイン研究所

【資料】ナノ材料の物性評価

カーボンブラックの多角的な物性評価

ます。電気伝導性や熱伝導性に優れるカーボンブラックは、電極材料やゴム・プラスチック充填剤、顔料など多種の工業用途として利用されています。その構造は、球形粒子が一次凝集体（アグリゲート）をとり、さらに二次凝集体（アグロメレート）をとる複雑な構造が知られています。ここでは、カーボンブラックの物性を多角的に評価し凝集状態を解析します。【掲載内容】 ■概要 ■...

メーカー・取り扱い企業：マイクロトラック・ベル株式会社

【資料】種々の測定手法によるカーボンブラックの構造評価

各構成粒子の大きさや粒子間の空隙の大きさについて、より詳細な評価を行う…

当資料では、カーボンブラックの物性評価を行ないます。主にゴム・プラスチックの充填剤、顔料や電極材料に利用されるカーボンブラックは、ドメインよって構成される最小単位アグリゲートと、それらが凝集したアグロメレートと呼ばれる構造をとることが知られています。カーボンブラックの物性は主に粒子径、粒子表面性状、ストラクチャーです。【特長】 ■概要 ■評価装...

メーカー・取り扱い企業：マイクロトラック・ベル株式会社

【出張測定事例】水力発電用設備の3Dスキャン

レーザートラッカーとFOCUSを使用した3Dスキャンの測定事例をご紹介

島根県にある水力発電用設備の3Dスキャンの出張測定の事例をご紹介いたします。 1年前にもご依頼いただいたお客様からのリピートになります。お客様は水門の水量を調整するためのゲートを製造されており、今回はその設置の改修にあたり、現場のデータを取るために3Dスキャンのご依頼をいただきました。今回は広範囲となるため、レーザートラッカーを使用して基準を測定し、 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サワテツ

『産業用CTスキャン受託サービス』ウェイゲート・テクノロジーズ

内部解析、不良検査など幅広く対応。1点から対応可能。デモ施設も新オープ…

当社では、電子部品や自動車部品、3Dプリント品、バッテリーなどの X線CT測定・解析を行う『産業用CTスキャン受託サービス』を提供しています。樹脂や金属、セラミック、複合材、新素材など材質を問わず、最少1点からご要望に合った測定をご提案。試作品の完成度チェックや不良品の検査、リバースエンジニアリング用の計測、高解像度の断面図・3D画像の提供、各種解析など多種多様なニーズに...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

ISCEF活用事例／ゲート・水門解析

ゲートのモデル作成、解析、塑性化照査・座屈照査等の事後処理まで！大規模…

土木構造物に適した構造解析ソフト『ISCEF』の活用事例をご紹介します。ダムの付帯設備としてゲートは、下流域の安全性を保つという意味で大きな役割を負っています。そのためゲートは、ダム本体同様に大地震時においても破壊しないものでなければならず、その検証を行う上で有限要素法による解析は...

メーカー・取り扱い企業：センチュリテクノ株式会社

活用事例／門柱解析※モデル作成（Ｍ-Φ・ファイバーモデル）

ダムの重要な関連構造物である門柱や堰の静的・動的解析に！土木構造物に好…

土木構造物に好適な構造解析ソフト『ISCEF』の活用事例をご紹介します。門柱はゲートや上部工の柱となる部分です。門柱自身が損傷すると ゲートの開閉を行うことが出来なくなり水位調節が出来なくなるため最悪の場合にはダムの崩壊に繋がる可能性があります。そのため、ダムの重要...

メーカー・取り扱い企業：センチュリテクノ株式会社

【分析事例】SiCPlanerPowerMOSFETの拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

価し、キャリア濃度分布をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）で定性的に評価しました。いずれのデータからも、n+型のSource層の周囲に、p型のBody層が二層構造で形成されていることが分かり、ゲート直下にはChannel Epitaxial層が存在することが分かりました。Channel Epitaxial層の端部では、Source層に一部濃度の低下が確認されました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハケース内ウエハの有機汚染評価

製造プロセスおける有機汚染の原因や総量を評価できます

ウエハ表面に有機物が吸着することで、ゲート酸化膜の耐圧劣化など様々な問題が発生することが知られています。そのため、半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれて、無機物だけでなく微量の有機物についても汚染量を把握することが重要になってきて...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST