ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

電動アクチュエータ向けダストシールソフトワイパBIHO・BIHI

PR繊維系ダスト、微粉末ダストの侵入防止に好適

ソフトワイパは、シリンダのロッド部／ピストン部および軸受部等で従来のゴムやプラスチック製ダストシール／コンタミシールでは除去困難であった、髪の毛・繊維屑・微細鉄粉／粉体・紙粉など付着性ダストの侵入を防止する繊維複合体ダストワイパです。 また、グリースリング（潤滑供給システム）としての用途にも優れた機能を発揮します。 ※下記外部リンクより、2D CADデータのダウンロードが可能です。ご利用下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社阪上製作所

飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)

粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…

■テーブルコーチへの設置例 粗大粒子等重量飛来物の落下によるコンタミネーションコントロールとして最適。飛来物防止板を設置した場合、プッシュフード対向間距離を700mmから1OOOmmまで拡張することができる。また飛来物防止板購入時、飛来物防止板内にイオナイザーをオプション設置されたものの選択も可能。 イオナイザー(除電器)を設置することにより、クリーン環境下における有効な静電気対策が行えま...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

モリブデンの酸化防止・耐食コーティング　『SIBOR』

SIBORコーティングは1600度まで酸化を防止します。 （プランゼ…

大気中では基材側で硬い拡散層が形成されると共に、大気との反応により表面に形成される SiO2層が部材における酸化の進行を防止しています。 SIBORコーティングを施したモリブデン部材は、モリブデン固有の耐熱性と耐食性に高温での耐酸化性能が付与されている為、ガラス炉における理想的な部材です。...SIBORコーティングは1600度まで酸化を防止します。 大気中では基材側で硬い拡散層が形...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

近赤外線塗装乾燥炉「ハロゲンランプオーダーシステム」

近赤外線ハロゲンランプを使用し高効率な乾燥機を設計！内側から乾燥や効果…

近赤外線ハロゲンランプは、 対象物を内側から乾燥や硬化を促進させるので未乾燥・未硬化などの不具合発生を低減します。 また電源ＯＮで瞬時に要求温度に達しますので無駄なく短時間で処理を終えることが可能となります。 よって省エネルギーによるコスト削減や環境エコにも繋がります。 目的、用途、被乾燥物に合わせた乾燥・加熱性能を提供し、様々な材質、目的に合わせ設計いたします。 ■特徴 ・レ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーコー 埼玉事業所 ＩＰＳ営業課

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

ホルダー真空封止機構搭載 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元） ・有機材料が8種類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部屋装備の為、有機蒸着源が16元設置可能 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セル...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

自動研磨機『エコメット30』

清掃時間を節約！耐久性のあるダイカストボディーは堅牢さと安定性を提供し…

×D638×H650mmの、日常の研磨作業を 簡素化する自動研磨機です。 ストレート排水システムで研磨屑の蓄積を最小限に抑え、清掃時間を節約。 研磨盤の取り外しが簡単で洗浄が容易なのでコンタミ防止に役立ちます。 また、耐久性のあるダイカストボディーは堅牢さと安定性を提供します。 【特長】 ■日常の研磨作業を簡素化 ■清掃が簡単 ■優れたデザイン性 ■バーストと連動可能...

メーカー・取り扱い企業： 早坂理工株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結　完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

『石英異型管ヒータ』

ゾーン分割やユニット設計が可能！ワンランク上のクリーンな環境に対応しま…

『石英異型管ヒータ』は、金属発熱体を石英ガラスで封止することにより コンタミを防止するヒータです。 帯状発熱体を使用することで加熱面積が広く使え、さらにゾーン分割や ユニット設計ができます。 食品及び水の加熱に使用できる「オーバルタイプ」をはじめ、 建材用のガラスの加熱に使用できる「フラットパネルタイプ」や、 導体の洗浄槽加熱に使え「ラジアントタイプ」をラインアップしています。...

メーカー・取り扱い企業： 貞徳舎株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

【特徴】 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セル...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） 　◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 　◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ 　　　　　　　　　　　　⇒「中段部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

【特徴】 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セル...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社