フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ビルトイン放射温度計（耐環境型）BTM-30 / BTM-40

装置組み込みに最適な小型センサヘッド。 センサヘッド部は180℃の雰囲…

主な仕様 測定温度範囲：BTM-30TAC、BTM-40TAC：-40～+500℃　　BTM-30TAC-HT、BTM-40TAC-HT：0～1000℃ 光学系：Siレンズ 検出素子、波長：サーモパイル/8～14μm 応答時間：150msec/90% 測定精度：1) BTM-30TAC、BTM-40TAC 　　　　　　-40～0℃：±3℃、1～200℃：±2℃、 　　　　　　20...

メーカー・取り扱い企業： 理化工業株式会社

ビルトイン放射温度計　BTM-80

センサはIP67の優れた防水防塵性能。衝撃、ノイズに強いSUSボディと…

主な仕様 測定温度範囲：0～400℃ 光学系：Siレンズ 検出素子、波長：サーモパイル/8～14μm 応答時間：100msec/90% 測定精度：0～200℃　±2℃、 201～400℃ 読取値の±0.1% 放射率：0.95固定 アナログ出力：DC 4～20mA ...

メーカー・取り扱い企業： 理化工業株式会社