フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サーモクーラー　極低温SAMOL「VL-2F2/VL-3F3」

PR-50℃の極低温状態を、あなたの机上に実現！高性能の電子冷却システム

日本ブロアーのサーモモジュール電子冷却システムSAMOLファミリーに、極低温環境を机上に実現するVLシリーズが登場しました。 従来品では-10℃が実現最低温度でしたが、高機能のVl-3F3では-50℃(VL-2F2では-30℃)の冷却空間を作り出します。 温度管理は専用コントローラーで±0.1℃単位で設定できます。 コンプレッサーを使用しないため騒音もありません。 理学や薬学関連の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブロアー株式会社

循環液温調装置『サーモチラー（大型タイプ） HRSHシリーズ』

トリプルインバータで抜群の省エネ効果！いつでもどこでも簡単に冷却水をご…

『サーモチラー（大型タイプ） HRSHシリーズ』は、小型省スペースの 循環液温調装置です。 冷凍機、ファン、ポンプおのおののモータ回転数をお客様装置側負荷に 応じてインバータ制御。インバータなし...

メーカー・取り扱い企業： テクマ株式会社

循環液温調装置　サーモチラー『HRLEシリーズ』

1台のチラーで2系統を個別に温調可能！ヒーターレスによる加熱方式で消費…

『HRLEシリーズ』は、レーザ用小型デュアル/ベーシックタイプの 循環液温調装置です。 1台のチラーで2系統を個別に温調することが可能。 省スペースで設置面積21％削減、省エネで消費電力17％削減する ことができます。 【特長】 ■レーザ用小型デュアル/ベーシックタイプ ■1台のチラーで2系統を個別に温調することが可能 ■省スペースで設置面積21％削減、省エネで消費電力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社UK 諏訪支社

Thermo Wrap Kit

MOCVD向けに環境に優しくコストパフォーマンスに優れた画期的な商品が…

小型ペルチェチラーと専用熱交換パッドがセットになったThermo Wrap Kit（サーモラップキット）は、従来型コンプレッサー方式の開放バスを使わずにバブラーを±0.1℃の精度で温度制御します。 【特徴】 ・バブラーを±0.1℃で精密に温度制御します ・冷却・加熱・常温付近...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

生産性向上・効率化、機器見直し（2）【お悩み解決事例】

不良発生率が減少！SMCサーモチラー実機貸出によるテスト実施で置換え受…

設備メーカーN社様では従来、他社メーカーのチラーユニットをご使用 されており、機器寿命のため更新をご検討されておりました。 SMC製サーモチラーは実機貸出をしておりますので、既設品同等仕様の 「HRS050-A-20」をお持ちしテスト実施。 置換えに問題無いことを実感して頂いた上、温度安定性±0.1℃のため、従来 チラーユ...

メーカー・取り扱い企業： 伸栄産業株式会社