サーモクーラー　極低温SAMOL「VL-2F2/VL-3F3」

PR-50℃の極低温状態を、あなたの机上に実現！高性能の電子冷却システム

日本ブロアーのサーモモジュール電子冷却システムSAMOLファミリーに、極低温環境を机上に実現するVLシリーズが登場しました。 従来品では-10℃が実現最低温度でしたが、高機能のVl-3F3では-50℃(VL-2F2では-30℃)の冷却空間を作り出します。 温度管理は専用コントローラーで±0.1℃単位で設定できます。 コンプレッサーを使用しないため騒音もありません。 理学や薬学関連の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブロアー株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【測定事例】熱電発電材料　チタン酸ストロンチウム　【TA】

熱電素子材料開発に役立ちます！

想されますし、現に弊社には熱電素子材料の測定依頼が数多く寄せられています。震災後、特に増えている傾向があり、省エネ世界に我々の測定技術が貢献できるならば、なんでも協力したいと思っております。当社のサーモウエーブアナライザーＴＡは、熱伝導率の異方性がある材料でも、同一ワークで測定できる装置です。測定依頼、個別のご相談も賜っておりますので、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定事例】<半導体材料>　Siウェハ　【TA】

半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定！

m／P,High,111 　３．ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,100 　４．ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,111 　５．ケイ素>1000Ωcm／N,High,111 当社のサーモウエーブアナライザーＴＡで測定しますと、 熱伝導率（熱拡散率） 　１．約120W/mK（74mm2/s） 　２．約140W/mK（87mm2/s） 　３．約120W/mK（76mm2/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所