小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

検査・点検システム『See-Note』【図面上で検査・点検！】

PR図面上から検査・点検が可能に！図面とチェック項目の組み合わせで、点検・…

「See-Note」は、スマホ・タブレットを利用して検査・点検を行うシステム です。現場で紙に手書きで行っている点検業務を簡単に電子化できます。 従来はチェック項目一覧から選択し点検・検査を行う必要がありましたが、 図面上から検査・点検が行えるようになりました。図面とチェック項目を の組み合わせにより、点検・検査箇所が格段に分かり易くなります。 【特長】 ■スマホ・タブレットを利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＡＹコンピュータ

High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

【仕様（抜粋）】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■スパッタカソード：マグネトロン方式、ターゲットシャッタ ■スパッタ電源：RFまたはDC ■プロセスガス：Ar、O2、N2、他 ■基板ステージ 　・基板加熱：700℃（基板表面） 　・自転：最高20rpm ■真空排気 　・構成1：TMP+...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！ 最大3台のスパッタカソードを搭…

【仕様（抜粋）】 ■ワークサイズ：最大φ5インチ×高さ40mm 　形状・サイズ・材質等で異なりますのでお問い合わせください ■スパッタカソード：マグネトロン方式、ターゲットシャッタ ■スパッタ電源：RFまたはDC ■プロセスガス：Ar、O2、N2、他 ■真空排気：TMP+RP ■圧力制御：APC制御 ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはP...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社