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PRサンプルプレゼント!260℃までOK!500回以上繰り返して使える高耐…
『TACSIL F20』は、リフロー工程で500回以上繰返し使用しても 均一な粘着力を維持する両面テープ。 対応温度範囲は-73℃~260℃で、安定性に優れているのが特長です。 特にFPCや薄い基板の実装工程で実績多数。 基板が動いたり、カールするのを抑制します。 サンプルを無料プレゼント中! お問い合わせよりお気軽にお申込みください。 【特長】 ■粘着強度にバリエーシ...
メーカー・取り扱い企業: イーグローバレッジ株式会社 MI本部
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。 ■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。 ■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも好適。VCR継手に対応。 ■DPS5000シリーズ:デジタル圧力センサ。 ■モジュール機能:お客様のご要望に合わせて、モジュールをカス...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!
8"工程用Pishowシリーズ: ・Pishow: シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能; 幅広く温度の工程に対応可能; エッチングの速度と均一性を精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A: HEMT工程のソ...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対応…
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種(一例)】 Pishowシリーズ: ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種(一例)】 Shale Cシ...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に
溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…
ます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置は、シリコンウエーハにエッチングしますが、同時に装置内もエッチングされるため、発生するパーティクルが製造歩留上の問題となり、先端プロセスでは使えなくなってきています。 イオンアシスト蒸着法による酸化イットリ...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定
Siウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されております。 集光センサーからの光を測定サンプルの表面および裏面で反射させ、再び集光センサーを通ってPDで干渉波を発生させてサンプルの厚みを測定致します。 Siウェハ以外にもご相談承ります。 詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。 【特長】 ・干渉計測のために...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルネアラボラトリ
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ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)
ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…
FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ば...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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ドライエッチング装置 RIE-10NR(平行平板型RIE装置)
数百台の実績を誇る汎用性に優れたドライエッチング装置。
RIE-10NRは、Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4などの各種シリコン薄膜の高精度エッチングを目的としたリアクティブイオンエッチング装置です。本装置は、価格が低廉でありながら搭載されたPLCにより各種エッチング条件の管理を行うことができるコストパフォーマンスに優れた...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対…
・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ: シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能; 幅広く温度の工程に対応可能; エッチングの速度と均一性を精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・成膜機種 Shale Cシリーズ: ...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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