三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

PR研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

自律移動ロボット Cobot Cellシリーズ LINKORES

PR田の字パレット、黒色パレットにも対応！国内現場への導入に適しており、ス…

Cobot Cellシリーズ『LINKORES リンクス』製品は、豊富なAGFラインアップと カスタマイズ実績から幅広い荷物への対応が可能な自律移動ロボットです。 スタンダードAGF 「ED15」「EP15」は、お客様自身でマッピング、デバッグ作業を完了でき、 すぐに使用できるスタッカー型無人フォークリフト。 上位システムを使用しない「スタンドアローンバージョン」、より複雑な制御連動を行う 「ク...

メーカー・取り扱い企業： THKインテックス株式会社

真空ポンプセット PRM/PRL/PRDシリーズ

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します…

標準組合せで簡単にお使い頂ける他、ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ...【製品の特長】 ○ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。 ○標準組合せで簡単にお使い頂けます。 ○ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

り、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーション防止することができる（1段アトモスタ：WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ） ●詳細...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　マルチジェトコンデンサ(MJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェクタの特長も全て備えています ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)

腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラ…

小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。...○ケミカル対応： 全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。 ○ダストに強い構造： ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 ○大気突入に強い構造： 不意の大気突入に強い堅牢設計です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ターボ分子ポンプ排気システム　STシリーズ

キャスター付きのターボ分子ポンプ排気ユニット

ターボ分子ポンプ排気ユニットです。 ポンプの組み合わせ、オプション機器の追加などご要望に合わせてカスタマイズ品を製作可能！...【製品の特長】 ○簡単操作で高真空まで排気 ○キャスター付きで移動が簡単 ○外乱に強く、ポンプ運転中でもユニットの移動が可能 ○必要に応じてオプション機器の取り付けが可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着する…

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。...【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！...【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所