【総合カタログ進呈！】紫外線（UV）殺菌装置・紫外線酸化装置　等

PR【純水・超純水の殺菌や紫外線酸化装置まで！】紫外線殺菌装置ならフナテッ…

40数年前、新しい殺菌手段として、水の紫外線（UV）殺菌装置を開発したフナテック製品の総合カタログです！ 純水・超純水用や工業用水、水産養殖・温泉水用など種類豊富な 紫外線（UV）流水式殺菌装置を中心に紫外線酸化装置、オゾン分解装置までご紹介しております。 【掲載製品】 ■紫外線流水式殺菌装置　RTシリーズ・MSシリーズ・HPシリーズ ■紫外線酸化装置　CXシリーズ・FOVシリー...

メーカー・取り扱い企業： フナテック株式会社 本社　

エアベアリングターボコンプレッサーWHシリーズ　製品パンフレット

PR世界のオイルフリーコンプレッサー産業のために！想像を超えたターボ技術の…

当資料は、世界最高レベルのエネルギー効率の「エアベアリング ターボコンプレッサーWHシリーズ」を掲載しております。 スマートターボコンプレッサー「WH-iシリーズ」や防爆ターボ コンプレッサー「WH-exシリーズ」など様々なシリーズをご紹介。 また、エネルギーコスト節約や多段圧縮、優秀さの核心などの解説 も掲載しており、導入検討の際に参考にしやすい一冊となっております。 【...

メーカー・取り扱い企業： コーワ商事株式会社

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー