【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【DL可/GD-OES測定】変色したステンレスの組成調査

GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をス…

グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。 この事例では「変色したステンレス(SUS)の組成調査」を紹介します。 ぜひPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

受託測定　依頼測定ご利用条件

レーザーを用いた非接触で熱拡散率を測定。熱を使ったデュアルモード観察が…

サーマルイメージングスコープ　ＴＳＩは、デバイス内部の熱特性を可視化、相対数値化することで界面の熱拡散性の評価を可能としました。熱を使ったデュアルモード観察が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。...【主な特長】 ○測定内容、試料形状、表面処理に関してはあらかじめご相談の上最適な測定方法を決定 ○必要な場合は秘密保持（ＮＤＡ）の契約書を送付 【その他の特長】 ○熱物性顕微鏡　サーマル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！ たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！ 【解析対象となる物理現象】 ・結合と活性化 ・成膜 ・スパッタや浸食 ・脱離や洗浄　　　など 【評価可能な表面特性例】 ・原料ガスや...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能 ・最表面を感度よく分析することが可能 ・イメ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。 「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、 エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。 また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した 受託測定を致します。 【受託分析詳細】 <水蒸気・ガス透過率測定> ■測定装置：DELTAPERM ■測定範囲：5×10-5g/...

メーカー・取り扱い企業： アイゲート株式会社 本社

【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

複数の解析ソフトウェアを駆使した『表面処理の特性予測ソリューション』を ご提案いたします。 解析ソフトウェアである「CAEソフトウェア」「分子モデリング」 「分子シミュレーションソフトウェア」を組み合わせることで、 より広い解析対象をカバー。 調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の 解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

コンビナトリアル成膜の受託

マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価

ンジニアが、お客様のご要望に お応えします。まずはお問合せ下さい。 【特長】 ■コンビナトリアルライブラリ薄膜試料の作製 ■コンビナトリアル特性解析 ■コンビナトリアルマグネトロンスパッタ装置の販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コメット

EPMAによる薄膜の膜厚分布測定

極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…

当社ではEPMAによる薄膜の膜厚分布測定を行っております。 薄膜の膜厚測定は主に蛍光X線法やX線反射率法で行われており、X線を入射源と しているためある程度の広い測定領域の平均的な膜厚しか測定できませんでした。 それに対して電子線を活用することにより、極小領域（約1μm2）の膜厚測定、 さらに膜厚分布（マッピング）が可能となりましたので、ご活用ください。 【特長】 ■測定原...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社