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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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ディスクろ過器 ディスクフィルター【※設置事例付きカタログ進呈】
PR省スペースで大量の水を処理!砂ろ過器に対しランニングコストは約70%低…
ディスクろ過器である「ディスクフィルター」はろ過面が縦に複数配列されているため、既存の砂ろ過器に比べてスペースを大幅削減! ランニングコストは約70%、設置面積は約50%になります。 圧力損失も少ないためエネルギーやメンテナンスコスト削減にも貢献します。 工場の各種生産工程水のろ過再利用など製造業で幅広くご利用いただけます。 【特長】 ◆ろ過損失水頭が300mm程度と少ないので送水ポンプが不要 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本インカ株式会社
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IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…
打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA(イソプロピルアルコール)の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全シス...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー(RCA)洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳し...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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株式会社納屋商事 -
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シンワ測定株式会社 FE部 -
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