R&D用接合システム　BP300LS

接合の研究開発に幅広く対応するR&D用接合システム

R&D用接合システム　BP300LSは、半導体からパワーデバイスまで、電極の接合工法の研究開発に幅広く対応します。 複数の接合ポイントを効率よく接合する機能を搭載しており、セラミックヒータと超音波ホーンを切り替えて使用することが可能です。 【特徴】 ○フレキシブルな工法対応 ○詳細な接合条件設定 ○簡単な実験段取り 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドウェルズ

デスクトップボンダ　BP050DL

先端半導体実装技術をデスクトップに！フレキシブルなデスクトップボンダ

BP050DLは、高精度接合ユニット郡をコンパクトなボディに凝縮したデスクトップボンダです。 セラミックヒータと超音波ホーンを切り替えて使用可能で、赤外光学系など高精度位置合せ機能を搭載しています。 三次元半導体などの最新半導体パッケージング技術をデスクトップで開発できます。 【特徴】 ○フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドウェルズ

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

高精度低荷重フリップチップボンダーCB-600 アスリートFA製

搭載精度±1[μm]、超低荷重0.049[N]を実現！極低荷重対応の高…

『CB-600』は、超低荷重対応のフリップチップボンダです。 高精度Z軸制御を生かしたツールの引き上げ動作で、 セラミックヒータによる常温～ 450℃まで加熱接合が可能。 ヘッド交換で超音波接合にも対応します。（お客様で交換可） また、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、 各種接合プ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

遠赤外線ヒーター

真空状態やクリーンルームでも使用可能！設計の自由度が高い遠赤外線ヒータ…

基板にステンレスを採用することで、セラミックヒーターの高い応答性のままで、セラミックヒーターにはできなかった大判化を実現したヒーターです。その他次のような特徴があります。 ●クイックレスポンス（応答性） ●高い効率のＩＲ（遠赤外線）特性が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社美鈴工業

シリンダータイプヒーター（円筒）　

シリンダータイプヒーター（円筒）　

シリンダータイプヒーター（円筒）　 耐熱ヒーターカンタルA-1を使用した、断熱材と一体化した高負荷タイプの 円筒形モジュールヒーターです。...均熱性にすぐれるため、電子部品、半導体材料などの熱処理に多く用いられております。 □■特徴■□ ■RACタイプヒーターは、スパイラル形状にしたカンタルA-1ヒーターをセラミックスペーサーで固定し、断熱材に埋め込んだ円筒形モジュールヒータ...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

クリーンプロセス向け高純度セラミックスヒーター

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

特殊セラミックス部品、半導体製造プロセスにおいて求められる高純度な発熱体です。...□■特徴■□ ■発熱体最高使用温度：1800℃ ■クリーンプロセスで使用される高温セラミックス発熱体 ■発熱体の保護皮膜の剥離は最小限 ■母材に含まれる金属不純物含有量を極限まで低減 ->発熱体から炉内雰囲気中への拡散を抑える ■全出荷品に対して鉄、ニッケル、銅などの含有量を記載した 成分証明書の発行...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。 主なアプリケーション分野： ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいており...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○空冷に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー