セラミックヒータ各種形状、オゾンO3発生片、金属厚膜発熱体

メイドイン中国と言わせない。数多くの経験と実績に裏打ちされた開発力、高…

＊業務内容＊ セラミックヒータ開発・試作、製造販売 オゾン発生片開発・試作、製造販売 金属厚膜発熱体開発・試作、製造販売 金属膜厚発熱体とは、SUS材表面に直接発熱部を焼結させたものです。発熱部が焼結されたSUS材は...

メーカー・取り扱い企業： 4U 珠海惠友電子有限会社 4U 会社の名前はフォユー です

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！ 振動、ねじ…

検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

耐熱衝撃タイプのアルミナ基板。ヒーターやパワーモジュール用途に

ヒータ用セラミック基板といえば窒化アルミが有名ですが、エフセラワンを用…

アルミナ基板「エフセラワン」は、熱衝撃に対する強度を格段に向上しました。 【特長】 ■熱衝撃試験後の曲げ強度が2倍（当社従来製品NA-96比） ■初期曲げ強度は1.1倍（当社従来製品NA-96比） ■A3サイズ、各種形状、厚みに対応 業界最高クラスの大判にも対応可能です（最大350×350 mm）...【主な用途】 ヒーター基板、パワーモジュール基板 【性能】 ○材質：...

メーカー・取り扱い企業： ニッコー株式会社 機能性セラミック商品事業部

高効率遠赤外線放射セラミックヒーター

加熱・乾燥等に幅広く使用可能！高温でも使用でき経年変化による放射率の低…

当社が取り扱う、『高効率遠赤外線放射セラミックヒーター』をご紹介します。 ヒーター表面は数多くの物体に吸収されやすい赤外線波長が出る グレーズ処理がされているため、加熱・乾燥等に幅広く使用可能。 完全放射体(黒体)の放射率に近い高...

メーカー・取り扱い企業： 中日本ヒーター株式会社

静電チャック用金属箔ヒーター

熱のコントロールの精度が半導体生産効率を支える　―　ヒーター内臓型静電…

半導体の微細化デザインが進むにつれ、その製造工程で熱のコントロールの重要性がますます高まっています。特に前工程では、熱のコントロールがスループットにも影響する重要なファクターになります。 半導体ウエハーの主流である300ｍｍサイズに対して均一に熱を供給するため、ヒーターのデザインが重要になります。ヒーターの発熱量が増大傾向にあり、必要な発熱を得るための抵抗値を増大させるために、銅箔の断面積、経路設...

メーカー・取り扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

真空対応コネクタ

真空用コネクタ。アウトガスの排出が少ない素材を使用したコネクタです。

ご希望に合わせて、電気の接続部分を設計いたします。 電流、電圧、真空レベル、温度、その他環境に合わせることができます。カタログの中から選ぶではなく、お客様との打ち合わせで出来あがる商品です。...低真空から高真空や、６５０℃の高温ヒータがある真空下でも使用可能なコネクタです。ご要望のコネクタ形状に合わせてを１個から設計・製作致します。 ガスや油などが入った容積内で使用できるコネクタも制作いたし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。 主なアプリケーション分野： ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいており...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社