フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

AXELENT フロアバリア

PR【安全対策】工場・倉庫内の安全性向上に大活躍！足元の低い位置で発生する…

アクセレントのX-Protect（エックス・プロテクト）衝撃保護システムに、フロアバリアが登場！ 単体での設置も、同シリーズの他の製品と組み合わせての設置も、どちらも可能です。 X-Protectシリーズの組立はとても簡単！ 支柱の間にレールをスライドさせるだけで、最低限の工具での設置が可能です。 またレイアウト変更や拡張が必要な際にも、モジュラー設計により、既存の構成を簡単に変更する...

メーカー・取り扱い企業： アクセレントジャパン株式会社

非接触式超低抵抗レンジシート測定システム『PVE-80』

PCによる簡単な測定操作、データ保存・管理！測定表示単位の変更が可能な…

『PVE-80』は、パルス電圧励磁法を測定原理に採用しており、サンプルに ダメージを与えず測定が可能な超低抵抗レンジシート測定システムです。 省スペース設計の本体筐体、ポータブル対応の取外し可能ステージを搭載。 PC(専用ソフトウェア)による簡単な測定操作、データ保存・...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

【PC制御による簡単操作の非接触抵抗測定器】 ◆省スペースでパソコンによる簡単な操作・データ処理 ◆非接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm 　　　　（ただし、ウエハの表面状態による）...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社