FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

真空はんだリフロー装置・酸化膜還元装置『RSS-210-S』

PRギ酸・水素還元両対応！最大200mm×200mmの基板に対応可能な卓上…

ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置です。 業界最小クラスのコンパクトさながら、 大気・窒素・還元雰囲気（ギ酸または水素）、 また真空リフローにも対応。 さらに高速昇温・水冷方式による高速降温を実現しているので 研究開発や試作に適したモデルです。 はんだリフローや金属の酸化膜還元処理の他、ペースト材料の焼結など、様々な アプリケーションにも柔軟に対応します。 【特長】 ■フラック...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

インラインコーティングシステム（FCVA）

スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置…

当社の『インラインコーティングシステム（FCVA）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

バッチ式FCVA装置

自公転式サンプルホルダーを採用！カスタマイズ可能なバッチ式大型コーティ…

当社で取り扱っている『バッチ式FCVA装置』をご紹介します。 自動車部品やプリンター部品等の摺動部品への成膜に有効に 用いられています。 自公転式のサンプルフォルダーにより、均一な膜厚分布を示しています。 【特長】 ■自公転式サンプルホルダーを採用 ■カスタマイズ可能 ■生産性の向上に寄与 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...【構成例】 ■FCVAソース...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

インラインコーティングシステム（スパッタ）

高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能！大量生産に適したインライン式スパ…

当社の『インラインコーティングシステム（スパッタ）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式スパッタ装置。 高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能です。 金属膜をはじめ、セラミック膜、フラットパネルディスプレーなどに お使いいただけます。 【特長】 ■最大基板サイズ：<3m(L) x 1.5m(H) ■均一性：±5％以内 ■90°垂直搬送システム ■チャンバー数を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン