技術情報誌 201902-02 大気圧RBS分析の開発

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法（RBS）を検討し、その実現に成功した。本稿では大気圧RBSによる固体／液体界面の深さ方向分析、HeLa細胞中量子ドットの深さ分布評価、及び大気圧RBS/HFS（水素前方散乱分析）による湿潤試料中水素の深さ方向分析事例を報告する。 【目次】 １．はじめに ２．固体／液体界面分析 ３．生体試料への展開 ４．...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【資料DL可：FIB】FIB装置によるSi基板へのパターン描画

FIB装置でシリコン基板上に高精度のパターン形成を行えます。マスクレス…

FIB(Focused Ion Beam：集束イオンビーム)装置ではマスクレスで任意形状のパターン描画(パターン形成)を行うことが可能です。 ・エッチングによるパターン描画では、1ドットあたり0.1μm程度の大きさで描画が可能です。（加工を行う材質、加工条件により最小サイズは変わります） ・ マスクレスでイオン注入を行うことが可能です。 ・ デポジションによるパターン描画も可...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社