【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

クリーン加熱ヒーター｜「SHシリーズ」

加熱部にステンレス（SUS 316-EP処理）を採用した不活性ガス／ク…

各種乾燥装置、エアーナイフ、水切り装置等に使用されるクリーンドライエアー（CDA）、不活性ガスのクリーン加熱用に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

超純水用加熱ヒーター｜スーパークリーンヒーター「QHシリーズ」

流体を汚染させること無く瞬間加熱を行うことが可能で、装置組込みや既設ラ…

■主な特長 ・ヒーター容量は1〜36KWまで16種類 ・接液部は石英、PTFE ・液溜まりがない構造 ・小型、堅牢、安全設計 不活性ガス／クリーンドライエアー用（SHシリーズ）：加熱部に ステンレス（SUS316−EP処理）を採用 ＜特長＞ ・ヒーター容量は500〜2400Ｗまで6種類 ・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社