中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

新製品　二液混合ディスペンサー　「ID-200R」

PR2液混合に必要とされる機能が充実した2液混合ディスペンサー 吐出量、混…

定量安定性のあるＭＧＰマイクロギヤポンプを、５相ステッピングモーターで駆動し、２液吐出用に専用設計された 制御部によって高精度な混合吐出を実現した２液用ディスペンサ－です。 混合部ローターの形状や容積、回転数などから、最適な条件を選べるカートリッジ方式強制混合タイプミキサーです。 本装置は微少量吐出が要求される２液性接着剤等のシール工程などに適しています。 特長 取り込んだポンプの基礎データを基に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本省力技術研究所　

蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈

ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃…

『コアモジュール』は、ノズルから蒸気・液体の流体を超音速噴射し 対象物の表面にキャビテーションを発生させる2流体洗浄モジュールです。 水滴の衝突時、キャビテーションが弾ける際に生じる2つの衝撃波により ナノレベルの...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】

超音速スチーム洗浄装置の応用例を動画でご紹介しております！

超音速蒸気2流体洗浄装置は、 超音速噴射ノズルから蒸気（気体）と水（液体）の2相流を超音速で噴射することで、 対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させその衝撃波で洗浄を行います。 応用用途として、以下のようなお引き合いを多くい...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

『VALIUS（バリウス）』は、レジスト・ペースト除去が出来る、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。 連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。 原料は「水」なので、化学薬品を削減できる...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコ…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（レジスト膜浸透）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

水のレジスト膜への浸透処理を公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（ビアホール洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ビアホールの洗浄比較資料公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（接触角測定）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ガラス表面の接触角測定の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（白金残渣洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

半導体工程での処理例を紹介！　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるた...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社