ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高精度かつ高強度！『メタルコアシリーズ』

PR高強度・耐食性に加え表面処理性に優れ、加熱処理も可能！

メタルコアは、カッター刃でキズも付かない等、 樹脂コアに優る耐久性によりリユースコア用途としてもその特性を発揮します。 メタルの管材は、元来巻き芯に求められる内外径・肉厚精度を満たすものが少ない中で、 当社のメタルコアは、高い真円度を実現しフィルムの巻シワの発生を抑えることが可能！ ■メタルコアシリーズ（アルミコア）のご紹介 特殊硬化処理を行う事により表面改質が可能！ 通常Hv...

メーカー・取り扱い企業： 三協紙業株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプ「TRVシリーズ」

酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

カルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVA…

高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 　デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

【その他の特長】 ■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、 　高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応 ■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能) ■従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保 ■RS23...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

スクリュー式ドライ真空ポンプ　BEHシリーズ

リニューアルして再登場

【特徴】 ○7つの高品位テクノロジーを継承し更に使いやすく ○ハードプロセスでの安定稼働を実現 ○排気速度(l/min)：7000 to 30000 ○到達圧力(Pa)：to 0.08 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 　（30秒通電／ 60 秒休止）で約75 時間、連続通電で約25 時間と長寿命 ○ハードベークに対応 →接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までのベークアウトが可能 ○UHV対応 →構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

製薬医薬プラントにも多数納入実績有り。厚膜テフロンコーティング

酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所