イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ

半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

『イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ』は半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応可能ポンプです。 ■□■特長■□■ ■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。 ベロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ