【事例】金属表面に非粘着性＝フォトマスクの汚れ防止

金属表面にフロロサーフFG-5093を塗布すると、非粘着性表面となり、…

に塗布すると、表面に非粘着性の性能を付与することができます。非粘着性とは、テープや接着剤、その他の汚れがくっつきにくく、取れやすいということです。 半導体の等倍系フォトマスクに塗布するとフォトレジスト由来の汚れが付着しにくくなります。 なお、この性能は耐久性がありますので長期間性能を保持することができます。 また、コーティング膜は10ナノメーター程度の極薄膜なので、マスク開口部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロロテクノロジー