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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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水添など気液混合の動力低下を防ぐ!気液プロセス用撹拌機/解説あり
PR気液混合の効率を大幅UP!水添などの課題解決のカギは撹拌設計にあるかも…
産業用撹拌機のマーケットリーダーであるEKATOが、気液混合時に起こる「動力低下」を最小限に抑え混合効率の最大化を実現する 気液混合のための攪拌システムを開発。 内部循環システムにより、水素など高価なガス資源の使用量を削減し、コストダウンを実現します。 攪拌・混合プロセスの研究を続けて90年となるEKATOは、「攪拌のスペシャリスト」として プロセスの課題を解決します。 内部循環システムとは...
メーカー・取り扱い企業: エカート株式会社 日本支社
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導入事例:省エネ・改善活動のためのエネルギーマネジメント基盤整備
生産設備毎のエネルギー消費量を可視化、エネルギー使用量の需要予測・分析…
■食品工場向けエネルギーマネジメントシステム 食品工場の省エネ・エネルギー効率向上に問題・課題はありませんか。富士電機の EMS では、エネルギー利用の「見える化」・「分かる化」・「最適化」で省エネを推進するとともに、自社工場のスマー ト化の実現にて培ったノウハウを活用することで、最適なエネルギー環境をご提案いたします。...エネルギーマネジメントシステム(EMS)の導入事例。食品製造業A社では省...
メーカー・取り扱い企業: 富士電機株式会社 パワエレ営業本部 プロセスオートメーション統括部
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導入事例 電力と蒸気の需要予測によるエネルギーコスト・燃料費削減
電力・熱の需要予測と自動制御を実現し、コージェネーションシステムの運転…
関連製品:MainGATE/PPA MainGATE/PPA( Process Performance Analysis )は製造実行システムをベースとしたエネルギー管理・分析ツールです。エネルギーと製造管理の統合データから、運用効率の阻害要因を分析・可視化す ることができ、3~5%の省エネ改善(最大実績27%)を実現します。 ...製造業(パルプ・紙)の製造実行システムをベースとしたエネルギー管...
メーカー・取り扱い企業: 富士電機株式会社 パワエレ営業本部 プロセスオートメーション統括部
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