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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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今までも、そしてこれからも新たな企業文化の創造とさらなる躍進をめざして
トーステ株式会社は、全プロセスにわたるラインを自在に制御し、高品質な製品づくりに貢献していきます。サニタリー配管材料からバルブ、装置の開発・製造を主力にプロセス設備、ユーティリティー設備の設計、施工、メンテナンスまでを担う国内...
メーカー・取り扱い企業: トーステ株式会社
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シナジーから生まれる信頼の力
トーステ株式会社は、サニタリー配管材料からバルブ、装置の開発・製造を主力にプロセス設備、ユーティリティー設備の設計、施工、メンテナンスまでを担う国内唯一の総合メーカーです。その事業領域は飲料・食品・化粧品業界から高度な技術力が要求される水処理・医薬品分野などへ拡大。国際レベルの...
メーカー・取り扱い企業: トーステ株式会社
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設備の設計、施工、メンテナンスまでを担う国内唯一の総合メーカー
トーステ株式会社は、サニタリー配管材料からバルブ、装置の開発・製造を主力にプロセス設備、ユーティリティー設備の設計、施工、メンテナンスまでを担う国内唯一の総合メーカーです。その事業領域は飲料・食品・化粧品業界から高度な技術力が要求される水処理・医薬品分野などへ拡大。国際レベルの...
メーカー・取り扱い企業: トーステ株式会社
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