【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

JUKI新製品公開！6/12~14実装プロセステクノロジー展出展

PRJUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産…

JUKIは6/12(水)～6/14(金)に東京ビッグサイトにて開催される 「第25回 実装プロセステクノロジー展」に出展いたします。 今回の実装プロセステクノロジー展では、 JUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産プロセスの実現でお客様の課題を解決」 をテーマに、プラネットヘッドP20Sを加えた「高速フレキシブルマウンタ LX-8」をはじめ、 世界初公開...

メーカー・取り扱い企業： ＪＵＫＩ株式会社

回転式マグネトロン用コンポーネント『マグネットバー』

最適化された冷却コンセプト！逆マグネット配列（インバート）も提供可能

『マグネットバー』は、優れた磁場均一性を有する回転式マグネトロン用 コンポーネントです。 開発では、ターゲットの浸食、層の均一性、プロセスの安定性、そして アプリケーションに応じた磁場の強さに焦点を当てています。 さまざまなエンドブロックにも対応。当製品は幅広い範囲の磁場強度と長さで お求めになれます。また品質管理のため、...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

平板型マグネトロンボディー

シールされた冷却チャンネル！標準WSM＆SSMボディーやPLANAR …

す。 様々な種類のアプリケーション向けに当社はこれまで350基以上の大型平板型 マグネトロンを販売。改造、そして新しい製膜装置への応用にご使用ください。 さらに、ポンプ搭載型、非搭載型のプロセスリッドを完全組立て提供します。 本製品シリーズは、WSM、高効率平板型マグネトロンHU-WSM、および大規模 エリアの平板型アプリケーション向けPlanar XTと小規模エリア向けSSMと...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社