フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

薬液供給装置（連続式）　P112

PRプロセス装置に連続で薬液を供給

本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法：W1720*D810*H2010 ○重量：約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

水処理用自動逆洗フィルター『フジ・アオブカシステム』

確実な連続自動運転 + Fineな濾過を可能にする秘訣は、自社開発の焼…

【用途】 ＜水処理＞ 　工業用水、海水、地下水、ダム水、河川水など ＜ケミカルプロセス＞ 　対象異物濃度の高いプロセス流体など 【仕様】 運転圧力：0.15MPaG～1.0MPaG（1.0MPaG以上はご相談ください） 運転温度：0～150℃（凍結なきこと） 運転流量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士フィルター工業 本社

水処理用 逆洗フィルター『FUJI BBWフィルターシステム』

高いろ過精度と逆洗能力で高濃度・粘着性異物に対応！【※簡易テスト可能。…

『FUJI BBWフィルターシステム』は、プロセス液や製紙用の白水など 高いろ過精度と逆洗能力が必要な水処理に適したフィルターシステムです。 剥離性が高い低圧損の焼結金属ろ材を採用しており、 バブリング方式を用いることで優れた逆洗能力を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士フィルター工業 本社