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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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焼結体作製に好適! 高流動性SiCパウダーを新規開発。バインダーレス・…
ら、成形体強度・焼結性に優れており、 バインダーレス・焼結助剤レスで緻密なSiC焼結体を作製することができます。 【特徴】 ✔ バインダーレスで成形可能 ➜ 脱脂不要・低環境負荷製造プロセス ✔ 高流動性 ➜ ハンドリング性良好 ✔ 優れた焼結性 ➜ 焼結助剤レスで緻密化可能、優れた機械的特性を有する焼結体へ 【期待される用途】 ・Si...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジミインコーポレーテッド
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例えば、黄色えんどう豆の澱粉とタンパク質を効率良く分離します。…
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