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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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多種多様な素材の焼成テストに対応可能なデモ機を多数常設し、新素材開発の…
前にいろいろ試したい!」 そんな時!! お客様の問題解消や研究開発テーマの実現化に広築RDセンターがお役に立ちます! 焼成テストによる検証と試作(サンプルテスト)、検証データに基づく生産プロセスのご提案、 また研究開発用から対象新素材の生産・製造に最適な熱処理装置の設計・製作まで、 経験豊富なスタッフがお客様が求める新素材の実現を徹底サポート致します。 ※デモ機の仕様やテストに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社広築 営業部
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