ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ルーター式基板分割機用バックアップ治具『Divider』

基板形状・分割機の仕様に合わせて製作可能。基板のたわみを抑え、分割軌跡…

『Divider』は、ルーター分割時の基板のたわみを抑え、 分割作業の効率化・安定化に貢献する受け治具です。 基板形状や分割機の仕様に応じた製作が可能で、 インナープレート仕様や、バキューム仕様といった オプションもご用意しております。 【特長】 ■分割軌跡ズレを防止 ■基板位置決め精度を向上 ■実装済み部品との干渉を防止 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

基板分割機用バックアップ治具

時代は手割りからルーター分割。

時代は手割りからルーター分割。 基板分割機による分割作業はおまかせください！ 基板のミシン目を基板分割機で切断・分割するときの受け治具です...■ノーマルタイプ ルーター分割時の基板の たわみ防止 基板位置決め精度を向上 分割軌跡ズレを防止 実装済み部品との干渉を防止 ■インナープレートタイプ 分割作業の効率化と 安定化を実現 反り防止 暴れ防止 基板上面への切り粉...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン