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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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DrM社製ろ過装置『FUNDAWAVE/FUNDALOOP』
PRペプチド医薬品・バイオ医薬品・飲料製造などの精製濃縮プロセスに好適。簡…
当社では、製薬や飲食料品、電池の陽極製造など様々な分野における UF・MFプロセスの工程改善に貢献するDrM社製ろ過装置を多数取り扱っています。 【特長】 <クロスフローろ過システム『FUNDAWAVE』> ■平膜を振動させてろ過する工業用クロスフローろ過ソリューション ■ろ材表面のケーキ層形成やTMP(膜間差圧)の上昇を抑制し、高濃度・高粘度な濃縮を実現 ■フィードポンプの小型化...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士フィルター工業 本社
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プロセスや装置内において正確で安定した圧力を供給!圧力/背圧・/ヒータ…
● プロセスや装置内において正確で安定した圧力を供給することができます。 ● プロセス変動の可能性を削減し、圧力の影響による装置のトラブルを軽減します。 ● 豊富な製品ラインアップを取り揃えており...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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HFシリーズは、正確に二次側圧力を制御する独自の圧力感知アセンブリーと…
連動するロード・スプリング ■バルブの面間寸法と同じコンパクトなボディでありながら、 大流量(最大流量:200 std L/min)に対応するデザイン ■システム・コンポーネントとプロセス・ラインの省スペース化を実現 ■最新版のカタログはスウェージロック社公式ホーム・ページで 入手が可能です。詳細は、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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