• 【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム 製品画像

    【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

    PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

    関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

  • 極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』 製品画像

    極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

    40%のサイズダウン!組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

    『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキン...

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    メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

  • 真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置 製品画像

    真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置

    ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空乾燥・ベーキング装置。ニ…

    佐藤真空の真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置は、チャンバーサイズ・真空度・加熱温度・操作方式など、各々に特長をもった多種多様なシリーズをラインアップしています。 ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空装置を得意としており、お...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • 超高真空バリアブルリークバルブ 製品画像

    超高真空バリアブルリークバルブ

    全金属製で450℃までのベーキングが可能!広範囲にわたりガス流量の調節…

    必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空...

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    メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

  • 真空乾燥・真空ベーキング装置 DY "Wing"Type 製品画像

    真空乾燥・真空ベーキング装置 DY "Wing"Type

    高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気…

    生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • 真空乾燥・真空ベーキング 実験装置 製品画像

    真空乾燥・真空ベーキング 実験装置

    お客様からの実験依頼(真空乾燥・真空ベーキング処理など)にお応えしてお…

    佐藤真空社では、従来の設備に加え、高真空(×10^4Pa)/高温(Max 500℃)での 処理を可能とする実験装置を新たに導入し、お客様のワークサンプルテスト用 として常設しております。...【仕様】 ■槽内寸法  W430×D500×H135mm×3段(棚)またはW430×D500×H490mm(棚無し) ■到達圧力  ×10-4Pa(ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプ運転時) ...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • チタン合金製真空コンポーネント 製品画像

    チタン合金製真空コンポーネント

    既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか?

    弊社チタンチャンバーはステンレスの1/100から1/1000の低いガス放出特性を有しています。 ■超高真空への排気が簡単に素早く行えます。10-8EPaの超高真空へわずか10時間で到達します。ベーキングも150℃、6時間で十分です。 ■チタンの密度はステンレスの約半分です。真空システムの重量の大幅低減が可能です。 ■新開発のチタン合金は、純チタンにはない強度を有し、ステンレスに比べて1.7...

    メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社

  • 真空ポンプ『フォアライントラップ』 製品画像

    真空ポンプ『フォアライントラップ』

    簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能!油分子を効率よく吸着します

    シーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。 【特長】 ■簡単に油上記の逆流を防止することができる ■ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、油分子を効率...

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    メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

  • 真空乾燥・真空ベーキング装置 DQ "Noa"Type 製品画像

    真空乾燥・真空ベーキング装置 DQ "Noa"Type

    豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開…

    DQ-P(ポンプ組込タイプ) 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S(卓上タイプ) 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。...■高真空…到達圧力:×10^1Pa 油回転真空ポンプ単独の排気系としては高い真空度が得られます。漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供。 ■効率的な排...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • 真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type 製品画像

    真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type

    到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空…

    外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。 ...■高真空…到達圧力:×10^1Pa 油回転真空ポンプとつないで高い真空度が得られ、漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供 ■真空度の測定が可能 ピラニ真空計のセンサーをセットできるゲージポート(φ15...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • 低水分グローブBOX付真空乾燥装置 製品画像

    低水分グローブBOX付真空乾燥装置

    電池/電極生産用乾燥装置 【リチウム二次イオン・キャパシタ、太陽電池、…

    露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥・ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防ぐ低水分グローブBOX付真空乾燥装置です。 各種電池・電極などの乾燥・ベーキング・脱ガス処理に適しています。...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • 高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series 製品画像

    高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series

    多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

    %F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃(非通電)が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細については、カタログダ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • ビームシャッター機構 「KBS-01」 製品画像

    ビームシャッター機構 「KBS-01」

    シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能

    ャッター等にて使用されます。 【仕様】 ○シャッター動作スピード 30~800mm/s ○シャッター動作ストローク 0~20mm ○取付けフランジ ICF-70(スルーホール) ○ベーキング温度 200℃(エアシリンダー、電磁弁部除く) ○シャッター動作方向 全方位対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • トランスファーロッド TRシリーズ 製品画像

    トランスファーロッド TRシリーズ

    トランスファーロッド TRシリーズ

    強力な磁気回路により回転、直線運動を 高トルクで真空内に導入できる、トランスファーロッド 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○CF仕様により、MBE 装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取り付けはφ70CF仕様 ○強力磁気回路のマグネットカップリングにより高トルク ○XY機構等との組み合わせにより真空...

    メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社

  • 管球排気装置 製品画像

    管球排気装置

    ベーキングのための上下機構付電気炉を備えた8ヘッドの管球排気装置

    【特長】 ■ベーキングのための上下機構付電気炉を備えた8ヘッドの管球排気装置 ■操作には小型のタッチパネルを使用 ■シーケンサ・タッチパネルを含めた電気系も自社で製作しているため  複雑な自動運転にも対応可能 ...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社新島真空工業研究所

  • 極高真空計『3B-Gauge』 製品画像

    極高真空計『3B-Gauge』

    X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド!極高真空計

    A/3.0V ■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA ■電子電流=1~4mA(10mA可能) ■偏向電極電位=155V(デフレクター) ■X線限界=約5×10-12Pa ■ベーキング温度:最大280℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • チャッキングトランスファー 2TRW 製品画像

    チャッキングトランスファー 2TRW

    チャッキングトランスファー 2TRW

    ットカップリングにより チャッキング操作が行えるトランスファーロッド 【特徴】 ○強力な磁気回路により回転、直線運動を  高トルクで真空内に導入できる ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○CF仕様により、MBE 装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取り付けはφ70CF仕様 ○最適な磁気回路設計により高トルクを実現 ●その他機能や詳細については、カタログダウン...

    メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社

  • 【カタログ進呈中】真空装置&規格品カタログ2冊無料プレゼント! 製品画像

    【カタログ進呈中】真空装置&規格品カタログ2冊無料プレゼント!

    真空乾燥装置や真空脱泡装置等、真空機器を幅広くラインナップしております…

    ◆真空装置群を豊富なラインナップで多数掲載【真空装置総合カタログ】 ◆真空に関わる規格品及び部品を広範囲にわたり掲載【規格品総合カタログ】 【掲載製品】 ・真空乾燥装置・真空ベーキング装置・真空乾燥・ベーキング実験装置・真空熱処理炉・高真空排気装置・真空蒸着装置・真空含浸装置・真空脱泡装置・液晶注入装置・真空広域恒温装置・真空ポンプ・オイルクリーナー・真空計・真空部品/コンポ...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • セラミック加工品 製品画像

    セラミック加工品

    小物・丸物の加工が得意!「絶縁」「耐熱」「耐摩耗」など、様々なニーズに…

    特長としては、小物・丸物の加工を得意としており、焼成前に生加工する為、 少量の場合、金型が不要。高い精度が求められる場合は焼成後の2次加工にて 仕上げを行います。 また、洗浄やベーキング処理まで行い、品質には特に力を入れております。 【特長】 ■小物・丸物の加工が得意 ■焼成前に生加工する為、少量の場合は金型が不要 ■原料の調合から加工、焼成、2次加工、検査、洗浄と...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社友玉園セラミックス

  • 真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減!新しい「真空構造材」 製品画像

    真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減!新しい「真空構造材」

    0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現!ステンレススチールの代替え…

    かに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 単発型電子銃 製品画像

    単発型電子銃

    TELEMARK電子銃シリーズ

    単発型の電子銃です。超高真空対応モデル、ルツボ交換やベーキング可能なモデルなど多種多様なラインナップが揃っております。それ以外カスタムも応相談。...

    メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社

  • 超高真空導入機、ゼロレングス覗窓 製品画像

    超高真空導入機、ゼロレングス覗窓

    UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック/…

    【特徴】 ○超高真空対応 →清浄で放出ガスが少ない構造のため超高真空に最適 ○ベーカブル仕様 →ベーキング可能な封着構造によりリークタイト [CMSシリーズ] ○幅広い圧力範囲に対応 →10-2Paから超高真空領域まで使用可能 ○豊富なラインナップ →微小電流用のBNC コネクタ式、  ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」 製品画像

    ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」

    非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

    【特徴】 ○燃結された非蒸発型ゲッター材から構成される2列のゲッターディスクと  中央に位置する赤外線ランプから構成されている ○ランプの放射熱によりポンプは活性化し、チャンバーがベーキングされる ○ゲッター材は、真空中の活性なガスと化学反応し、その表面に取り込む ○ポンプダウンとプロセスが行われている間、  H2,H2O,CO,CO2,N2,およびO2と反応する ○プロセ...

    メーカー・取り扱い企業: アップ・テック・ジャパン株式会社

  • 無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ 製品画像

    無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

    大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません!

    当社では、150℃、1.5~12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を 排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。 加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの 超高真空ポンプとして適しております。 【特...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社バロックインターナショナル

  • 配管部品 導入ガス流量調整バルブ「ベローズ式L型アングルバルブ」 製品画像

    配管部品 導入ガス流量調整バルブ「ベローズ式L型アングルバルブ」

    配管部品 ガス量調整バルブ

    【特徴】 ◯Oリングタイプで高真空領域対応 ◯パイトンOリングを使用することにより、ベーキングも可能 ◯耐熱温度は150℃ ◯ステンレスボディーのため、シール部分の傷の心配がない ◯手動・圧空タイプをラインナップ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート

  • 真空装置の立ち上げ・運用に役立つ真空装置の虎の巻 製品画像

    真空装置の立ち上げ・運用に役立つ真空装置の虎の巻

    知って得する!真空装置の立ち上げ・運用に役立つ~研究者のための技術資料…

    と利用例 ○気体の性質 ○真空の領域区分と分子密度 ○真空排気の現実 ○真空排気を邪魔する5つのガス源 ○具体的な真空材料 ○使用して後悔する材料 ○真鍮 (黄銅)の怖ろしさ ○ベーキングとプリベーキングの必要性 ○各種真空ポンプの原理と特徴 ○汚染された超高真空容器内の残留ガススペクトル ○各種真空計の概要 ○ガスケットの材料 ○真空装置に使われるエラストマーの性質 ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 真空装置『ガス採取装置』 製品画像

    真空装置『ガス採取装置』

    希少サンプルを5系統以上に分配可能な真空装置!

    2台搭載 ■サンプルガス分配:5系統(容積確度±5%) ■バルブ開閉:モーター駆動/PLC制御(モータートルク、開閉速度、開閉順番) ■配管真空度:ターボポンプ直上10^(9)Pa台 ■ベーキング温度:配管、バルブ類250℃ ※詳細はお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイブイシー

  • 真空乾燥・真空ベーキング装置 DH "Fairy"Type 製品画像

    真空乾燥・真空ベーキング装置 DH "Fairy"Type

    高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排…

    高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系(×10^3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器。ターボ分子ポンプ排気系(×10^4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器。 ■生産機として設計された自動式真空乾燥・真空ベー...

    メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社

  • スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」 製品画像

    スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」

    マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能

    膜が可能です。 【特徴】 ○Oリングを使用しない超高真空タイプ ○スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能 ○マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能 ○ターゲットの固定はリテイナーで行われ、ターゲットを短時間で交換可能 ○ガス導入口が取付フランジと一体となっているので、  ガス導入用のフランジは不要 詳しくはお問い合わせ、...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』 製品画像

    極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

    0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現

    2月11日(水)より、「SEMICON Japan 2019」に出展します! 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか? 製品画像

    真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか?

    答えはこちら!真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご…

    度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

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