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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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PR循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替作業不要…
ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ1台で-100℃~+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式:混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式:電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 ◎循環量:10~20L/min ◎揚程:10~15m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マック
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…
業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
成膜系:φ3インチカソード 1元装備 :高周波電源 1源装備 :基板加熱機構標準装備 :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ 操作系:全手動 オプション機構 磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス 逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱 主ポンプ変更(ターボ分子ポン...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
600mm□×600mmH/バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ+ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…
標準仕様 4インチカソード3元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ+油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現 1m□のコンパクトな筐体に多機能を実現 上位機種の各部ユニットを搭載可能...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム&大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により6インチウェハまで対応。 水素雰囲気...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 …
電子銃2~3台を使用。最大1800mmLの基板の成膜が可能。基板の自公転回転機構により基板の全面成膜を実現。大口径拡散ポンプ+ポリコールドチラーの高速排気で短タクトと高速水分除去。高品質な蒸着膜を形成。各種成膜プロセスも専用PCにてレシピ管理&データロギング。管理容易な全自動システム。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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