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PR水、油、有機洗剤、酸、アルカリ水溶液、メッキ液、スラリー等適用可「重力…
『チビット』は、「滴らす」「飛ばす」「噴霧」の3つの働き、水・油・薬剤・溶剤もOKの液体滴下装置です。 ある程度の精密性と応答性が必要な場合は電磁ポンプタイプを! 適応粘度は200cp程度まで。 粘度が高い液体とスラリー性質の場合はチューブポンプタイプを! 適応粘度は1000cp程度まで 【特長】 ○入力時間の短・長にかかわらず一定時間滴下動作を行う ○装置連動・簡易充填...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社笠井製作所
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PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能!ペー…
サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...
メーカー・取り扱い企業: トミタエンジニアリング株式会社
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ターボポンプ搭載可能!低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメー…
却機構のRTP装置です。 最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式)しており、 真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能。 また、大気・真空下プロセスに対応しており、ターボポンプ搭載可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式) ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能!クオーツ製チューブ型チャ…
50mm径基板対応のDLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大成膜温度は1100℃(ランプ加熱方式)で、最大6×DLI気化器を搭載可能。 また、マスフローコントローラーは最大8、ターボポンプ搭載可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大50mm径基板対応 ■最大成膜温度:1100℃(ランプ加熱方式) ■最大6x DLI気化器を搭載可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』
最大成膜温度は800℃!チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭…
スチールステンレス製チャンバーの DLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大200mm径基板対応、マスフローコントローラーは最大「MC-100」が8、 「MC-200」は6で、ターボポンプ搭載可能となっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応 ■最大成膜温度:800℃ ■最大4x DLI気化器を搭載可能 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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アニール処理後急速冷却機構!Annealsys社の高速熱処理装置をご紹…
『AS-One 100/150』は、大気・真空下プロセス対応のRTP装置です。 ターボポンプを搭載可能で、マスフローコントローラーは最大5と なっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■アニール処理後急速冷却機構 ■大気・真空下プロセス対...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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『中古部品買取・販売/リファービッシュエンジニアリング』のご紹介
約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…
『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 (表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など) ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ■生成物の除去、装置の延命化、オ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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最大156mm×156mm基板対応!真空又は大気搬送装置及びロードロッ…
■最大156mm×156mm基板対応 ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニール処理後急速冷却機構(上部ランプ加熱式のみ) ■大気・真空下プロセス対応 ■ターボポンプ搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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