小型スパッタリング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

韓国 A-tech社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。 物性研究や製品QCおよびQA、半導体の故障解析などに最適です。 ■詳細はカタログダウンロードより■ ●御問合せ：03-5472-1722 (TEL)...【主な特長】 コンパクト設計により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

ポリパラキシレン蒸着成膜装置

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…

本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。 ・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。 ・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。 ・装置に付帯するPLCによりプロセスが...

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フラッシュランプアニーリング装置　FLA

半導体など各種材料に！数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間でアニーリング可…

フラッシュランプアニーリング装置　FLAは、DTF-FLA ウルトラショートタイムアニーリング用にデザインされたスタンドアローン装置です。半導体材料、その他の材料に対して、数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間のアニーリングをすることが可能です。非常に短いパルス（マイクロ/ミリ秒レベル）のキセノンフラッシュランプにより、超高速昇温レートで表面のみ加熱しますので、フレキシブル基板、 耐熱温度の低い基板上の...

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大面積イオンビーム照射装置

成膜せずにドーピングで物質の表面を改質！耐摩耗性の向上、耐疲労性の向上…

ISYS社　大面積イオンビーム照射装置は、成膜せずにドーピングで物質の表面を改質します。イオンビーム装置は加速されたイオンを製品表面内に注入させることによって表面を改質する方法です。メタル・セラミック・ポリマーなどの表面特性を向上します。イオンビームエネルギーは、～300KeV、イオンビーム電流は 5～50 mA、イオンビーム照射面積は 400mm×400mmです。処理効果は、機械的な特性向上とし...

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多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン＋ALD）

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層…

パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はあり...

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非接触表面抵抗測定器

最大20mm！広い測定ギャップにて測定することが可能！

ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。最大20mmという他社製品と比べて広い測定ギャップにて測定することが可能であるため、お客様の様々なアプリケーションにも対応いたします。...ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー等に成膜された...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

薄膜封止装置

無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高い…

本装置は韓国SNU社が米国Vitex Systems Inc.の薄膜封止技術をライセンシングし、製作している薄膜封止装置です。...本装置は韓国SNU社が米国Vitex Systems Inc.の薄膜封止技術をライセンシングし、製作している薄膜封止装置です。無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高いガスバリア性と曲げ、引張に対する耐性を付与します。...

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粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒子容器は取り外し可能 ＊...

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高機能フィルム製造用ロールコーター

スパッタ・ＣＶＤ・蒸着の複合機

他社との違いは、ＢＯＣ社とのライセンスにより、回転式カソード（ターゲット使用効率７０％）とＳｉＯｘ（Ｃ）フィルムを特殊なＣＶＤによって成膜可能です。またラインスピードを２０００倍まで可変可能です。...高性能な透明導電フィルムや透明バリアフィルムを乾式（スパッタやＣＶＤや蒸着）で製造するロールコーターです。...

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真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

PARAM社製、真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。 ...【特長】 ○真空下で使用できます。 ○発塵無くオゾンを分解します。 ○真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。 【仕様】 型式　　　　　　　　　　OZ-1000 入...

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