フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

5種類の六角レンチとドライバーが１つに！六角レンチ マルチツール

PR【六角レンチ専門メーカーが作るこだわりの逸品】6種の工具が1つになって…

このマルチツールは2mm～6mmの六角レンチと、No.2のプラスドライバーを１つにした株式会社エイトのオリジナル製品です。 六角はエイト特製のテーパーヘッドとなっており、斜めから差し込んでもきっちりと噛み合い、スリップしません。 また、独自に開発した特殊合金鋼で出来ており、耐摩耗性・ねじり強度が抜群に優れています。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。...※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイト

電動アクチュエータ GLM（リニアモータ）[THK公式］

高推力・高加減速を実現

応できないロングストロークに対応できます。ベースをつなぎ仕様にすることで４ｍ以上のストロークも可能です。リニアモータ採用による高速・高加減速、リニアエンコーダ採用による高精度の実現、独立制御可能なマルチスライダを採用しています。これらの特長より、ロングストロークでも高速動作が必要な液晶ガラス検査装置や、マルチスライダが必要なナットランナーで使用されております。 なお関連リンク先では、より、...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータGLM20A（リニアモータ）［THK公式］

ロングストローク対応可、高速・高加速度実現、 個々のスライダごとに独…

THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ　GLM20APは、リニアモータ採用による高速・高加減速、リニアエンコーダ採用による高精度位置決めの実現、独立制御可能なマルチスライダを採用しています。またボールねじ駆動と比べてさらにロングストロークに対応でき、ベースをつなぎ仕様にすることで４ｍ以上のストロークも可能です。これらの特長を活かし、ロングストロークでも高速動...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ リニアモータシリーズ RDM

コアレスロッドタイプのリニアモータアクチュエータ

速度2G運転が可能です。放熱効果をより高めるためにフィン一体型ハウジングを採用しました。 ●低速度リップル コアレス構造により、コギング力がなく低速走行時でも滑らかな運転を実現。 ●マルチスライダ 1軸上に複数のスライダを設置し、各々のスライダを独立して制御することが可能です。 ●メンテナンスフリー ボールリテーナ入りLMガイドの採用により長期メンテナンスフリーを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ コントローラーシリーズ LXA、LXA-S

多軸用：1〜4軸、単軸用　2000ポイント

●高性能 32bit RISC CPUとインテリジェントサーボドライバを搭載し、高速、高精度制御を実現しました。 ●高機能 高度な機能を標準で搭載しています。 マルチタスク制御：同時に8プログラムの並列制御が可能です。 リアルタイムオートチューニング：搭載荷重の変化に対応し、自動的にサーボゲインを調整します。 ステータスモニタ機能：アクチュエータの位置、I...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ リニアモータシリーズ GLS

コア付きフラットタイプの電動アクチュエータ

塵 リニアモータとボールリテーナ入りLMガイドSSRの組合わせにより、低騒音かつ低発塵な動作を実現します。 ●ロングストローク 標準ベース長さは2200mmまで用意しています。 ●マルチスライダ 1軸のベースに複数のスライダをセットし、スライダを個々に制御可能です。 ●GLM20との寸法互換 リニアモータアクチュエータGLM20と高さ・幅・取付位置など、寸法に互換性があ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社