大型タッチパネル用露光装置

独自光学系と照明で高精度にアライメント！！！

<特徴> 4.5G（920＊730mm）～6G（1500＊1850mm）までのタッチパネルの薄板に対応します。 ITO、OC1、メタル、OC2のプロセスに最適なモードを提供します。 画像で不鮮明なITOマーク、メタルの被ったマークを独自光学系と照明で、高精度にアライメントします。 パネル搬送は、縦型で、非接触搬送、薄板に対応します。 マスクチェンジャー（5-10枚）を標準装備し、クリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

中型タッチパネル/OLED露光装置

独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！

<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。 搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ ...<仕様> 適用サイズ ：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

ガラス基板などへの対応可　成膜加工（PVD）

１枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能

【特長】 ○１枚からの成膜が可能 ○異形サイズの基板への成膜も対応可能 ○樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能 ○メタルマスクを使用しての部分的成膜も可能 ○パターニング後の基板も投入可能 ○膜種によっては、Φ３００ｍｍ以上の基板対応が可能 ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社