【モールド向けレジスト原版】 ～大型・微細加工にもカスタム対応～

［技術概要資料公開］フォトレジストで金型（モールド）形成ができる！フォ…

［当社について］ 竹田東京プロセスサービスファインプロセス本部では、 高い品質と精度のフォトマスク（ガラスマスク）、クリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。 応用例 ･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入) ･X線集光レンズ (放射光施設向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

レーザーマスク

レーザーマスク

レ−ザマーキング装置やレーザー加工機に反射膜をパターニングした 基板をセッティングして照射すると、対象物をパターニング加工することができます。 写真印刷技術を駆使していますので、微細なパターニングが可能です。 使用するレーザー波長によって反射膜仕様等は違いますので、 ご要求の仕様に合わせて設計することも可能です。 ...弊社では、各種レーザー用の反射ミラー・反射板の加工はもちろん、 フ...

メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社

3次元形状レーザ露光装置　※開発中

5軸ステージ制御による3次元形状へのマスクレスフォトリソグラフィを実現…

『3次元形状レーザ露光装置』は、5軸ステージ（直進3軸、回転2軸）構成により 様々な形状へ微細パターニングが可能です。 半導体レーザによる直接露光を行いますので、メタルマスクが不要で、研究・開発の 時間短縮、予算低減へ貢献します。 また、専用変換ソフトにより2D、3D CADで制作したデータを読込できます。 【特長】 ■5軸ステージ（直進3軸、回転2...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部

光導波路・ウェハ加工ファンドリーサービス

光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス！世界トップクラス…

NTTグループが保有する世界トップクラスの石英系光導波路製造技術をフル活用し、光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービスを提供致します。 6インチ(150mm)ラインを用い、ガラス成膜、微細エッチング加工、メタル成膜・加工など、工程ごとの個別受託も対応致します。 試作品から量産品まで、お客様のご要望に応じて幅広く対応いたします。 【サービス紹介】 ■お客様の回路設計情報に基づ...

メーカー・取り扱い企業： NTTデバイスオプテック株式会社

電気化学測定用分析チップ受託加工：求めた静電容量から誘電率を計算

電気化学（バイオ）測定用の分析チップを受託加工致します。 …

・パターン加工だけでも、受けて頂けますか？ ・ラインアンドスペース(L/S)が、10μmでも対応できますか？ １）微細パターン加工を実現致します。 フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。 ２）基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。 安達新産業では、基板の調達から...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社