FRロータリーステージ（精密位置決め装置）

1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応

FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。...〇...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

FGゴニオステージ（精密位置決め装置）

最高1アーク秒の分解能を実現

FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。...〇機械的特性（FGS013S125） ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト モータ：HR4...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）

ウエッジ角度によるエラーが皆無

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。...〇機械的特性（FBZ085010） ステージプレート素...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

FBリニアステージ（精密位置決め装置）

10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ

FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑