マイクロマニピュレータシステム

小部品を、数グラムで把持・マイクロメートルの位置決めが可能

◆精密対称動作を保障したスリムな把持機 　・低把持力（数グラム）で、ワークダメージを防止 　・ワークの１８０°反転も容易 　・小型モーターによる、リモート開閉で、手ブレを防止 　・把持部を簡単に交換、各種ワークに対応 ◆小型ＸＹステージ 　・占有容積が従来の１／８以下 　・顕微鏡周辺での並べやすさと剛性を両立させるジャストサイズ ◆モノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベース 　・軽量、...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

セミオートスクライブ装置『TEC-2005RM』

ハイスピード・ハイクオリティ！4インチウェハ対応のセミオートスクライブ…

『TEC-2005RM』は、加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した 4インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置です。 バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。 また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、 より精密なスクライブが可能になりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場