リニア・アクチュエータ『M3-L』

精密駆動機構と回路を内蔵したリニア・アクチュエータ！

『M3-L』は、小型ながら0.5μの高分解能を持つ位置決め装置です。 ドライバーICと閉ループ制御基板を内蔵。 小型な外形を生かし、どのような既存の機器にでも容易に組み込むことができます。 主に、光学機器、マイクロ波周波数調整装置、レーザー光制御装置などに 適しています。 【特長】 ■小型 ■高分解能 ■既存システムに組み込みが容易 ■自由度の高いシステムで、短時間で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテック

高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエ…

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ　20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決…

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！ 『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレン...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社