基板搬送装置

精度要求、スペース、生産性を考慮し、最適な『搬送する』技術を提供します…

１．コンベアで搬送する ・0.12mmの薄いフィルム、2,2000mm×2,500mmの大型ガラスの搬送を実現 ・CCDカメラを搭載した高精度アライメント機能、任意角度への回転機構に対応 ２．ステージで搬送する ・平面度20μmのフラットステージ、静電気対策に有効なピンステージをラインナップ ・ピッチング精度±0.05°、ヨーイング精度±0.02°の高精度搬送に対応 ３．SCARAで搬...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社