大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

生産管理システム『R-PiCS NX』

PRシリーズ導入実績660以上！生産・販売管理システム新モデル発表【『生産…

生産・販売管理システム「R-PiCS NX」は、素材加工や量産機能、見積や予実管理などの販売管理機能を強化し、新たなデザインで操作性を向上した「未来志向の生産・販売管理パッケージ」です。 見込（MRP）や受注、個別生産（製番）など、多彩な生産形態に対応したハイブリットに加え、 販売目標管理や仕入加工販売などの販売管理機能、外注中心のファブレス製造対応などを追加し、 業務適用範囲が広がりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＪＢアドバンスト・テクノロジー株式会社

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ローディングエラーを検知しま...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。 【特長】 ■アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能 ■様々なバリエーション、カ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社