締め忘れ防止システム＆ポジショニングシステム『nexonar』

PR組立作業順序間違いや位置間違いを改善！作業ミスの削減・品質管理を実現す…

締め忘れ防止システム＆ポジショニングシステム『nexonar』は、 確実な「ポカヨケ」によりミスのない作業を可能にした リアルタイムポジショニングシステムです。 作業者支援システムでツールの位置をスマートに管理。 各作業工程が順番に表示されることで、ミスのない作業を可能にします。 また、デモによるご紹介や、システムのカスタマイズ等のご提案ほか、 導入プロジェクトのサポート体制を...

メーカー・取り扱い企業： 不二空機株式会社

【パネルカット工事不要】制御ボックスクーラー『ヒカリラクール』

PR【旧モデルから冷却性能22%アップ！】マグネット脱着式！パネルカット工…

『ヒカリラクール』は、マグネット脱着式の制御ボックスクーラーです。 ペルチェモジュールの採用で「省スペース冷却」が可能。 緊急時のバックアップ用としてマグネット脱着式が活きます。 また、制御ボックス本体にパネルカットの必要がないため、 ミスト粉塵などがボックス内に侵入することを防げます。 【V2 MODEL】 冷却機能はアップさせ本体サイズはよりコンパクトに！ 旧モデルと比較して風量は88%...

メーカー・取り扱い企業： 光精工株式会社 本社

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

『GA2400』は、PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する エッジグリップ仕様アライナーです。 ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決めが可能。 極単純構造にすることにより、製造コストを大幅に削減できます。 また、2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：PEEK樹脂製クランプでウ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

『GA2000シリーズ』

RS232C通信制御！PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する製品…

式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■RS232C通信制御 ■2相ステッピングモータ使用 ■4インチウェハ対応 ■極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR110』

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択が可能...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作でデータ保存や上位システムと連携する ■ダブルアームロボット、アライナ、反転ユニット、自動撮像ユニット、 　制御機器(基本移載ソフト含む)を装備 ■エッジグリップハンドに...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型アライナー『AA2568』

2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め　スピンドルで吸着、光センサに...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボ…

Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 　180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』

全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

0°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1000シリーズ』

180度反転可能！全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご…

ームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 また、回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■ハンドがステッピングモータ駆動によって180度反転可能 ■アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ■回転軸は原点センサ、モータ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

『AA2000シリーズ』

5・6・8インチウェハ対応！2相ステッピングモータを使用の製品をご紹介…

・6・8インチウェハに対応しています。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ■2相ステッピングモータ使用 ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』

8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…

搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社