位置制御 | イプロスものづくり

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アキュレイトシステムズ伊那事業所

高性能充填機『4軸オーーーガ』

PRまるで、充填機界の4WD！計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・視認性も向上。またオプションとして、主軸スクリューWC溶射や、スクリュー先端ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

メーカー・取り扱い企業：讃光工業株式会社

【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～40…

■高分解能、再現性コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ■長ストローク最大400mmの可動ができます。これによ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

リニアエンコーダ内蔵　高分解能位置決め装置

【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、・通信コマンド数の増加・ティーチング機能追加・USBインターフェース追加・パラメータ数増加などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-111

100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

多機能コンパクト原子間力顕微鏡 CoreAFM

アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応…

『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄すること...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバー内で使用可能です。リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX20』

故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール

■XYスキャナー　・クローズドループ制御単一XYスキャナー　・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) 　・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー　・フレクチャー式クローズドループスキャナー　・スキャン範囲：15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：パーク・システムズ・ジャパン株式会社

ジョグコントローラ　JC-01

手元で簡単操作　位置決め対象を見ながら操作ができる

位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...接続対象：FC-110 / FC-410 / FC-510 / FC-610 / FC-910シリーズ制御軸数：2 機能：十字JOG操作、JOG速度段階切替、JOG指令パルス量切...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

機能ツール『電動高精度ローテーター HPR-2E』

遠隔制御電動動作で、高精度姿勢制御を実現！

『高精度ローテーター HPR-2E』は、FIBで加工した薄片のリフトアウトに特に便利な、電動制御ツール回転機構です。メッシュやグリットに降ろす際の微妙な位置制御を、マニピュレーターの3次元操作に本装置の回転操作が加わることにより、簡単に行うことができるようになります。リフトアウト用のガラスプローブの他に、金属プローブも使えますので、切削角度調整などの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロサポート本社営業部・開発部

チップ素子欠陥検査機

高精度なXYZオートステージです。

ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...【特長】 1. 高精度XYZオートステージ 2. 座標管理　絶対/相対座標制御パターン配置駆動 3. 素子マップ欠陥位置表示します。 4. 欠陥識別　正規画像登録との比較...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイティ・テック

原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』

欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…

　・Z移動距離：25 mm 　・分解能：0.1 µm 　・繰り返し誤差：＜1 µm ■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：パーク・システムズ・ジャパン株式会社

10nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのス…

■高分解能、再現性コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク最大200mmの可動ができます。これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御コントローラには通信インターフェースがいく...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー

■高分解能、再現性コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストロークボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御コントローラには通...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-514

10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-411

50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-414

50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-114

100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　サブミクロン分解能で位置決め　可動…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージシステム

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm…

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までライ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。ストロ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　20mm動作

【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　20mm動作

真空中で使える　リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　100mm動作

【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効で...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　40mm動作

【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアエンコーダを内...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　50mm動作

真空中で使える　5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵し...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　40mm動作

真空中で使える　5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

機能ツール『高精度ローテーター HPR-2』

スムーズなツール回転で高精度姿勢制御を実現！

『高精度ローテーター HPR-2』は、FIBで加工した薄片のリフトアウトに特に便利な、左右両用のツール回転機構です。メッシュやグリットに降ろす際の微妙な位置制御を、マニピュレーターの3次元操作に本装置の回転操作が加わることにより、簡単に行うことができるようになります。リフトアウト用のガラスプローブの他に、金属プローブも使えますので、切削角度調整などの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロサポート本社営業部・開発部