【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm／1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

薄膜印刷装置

フレキソ印刷方式で所望の任意パターンを1μｍ以下の厚みの薄膜を位置精度…

１．有機薄膜の形成に適した装置 ２．ワークサイズ100mm□から1850mmｘ2250mm□までのシート状基板の印刷に対応 ３．500Åから1μm（厚みは塗布溶液の固形分濃度による）の薄膜を±５％の面内厚み精度分布で成膜 ４．塗布パターンは有機樹脂版で任意に制御。位置精度は0.3mm以下。 ５．印刷時間は30秒／シート以下の高速処理。 ...本装置はフレキソ印刷法により、シート状基板表面...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

基板搬送装置

精度要求、スペース、生産性を考慮し、最適な『搬送する』技術を提供します…

１．コンベアで搬送する ・0.12mmの薄いフィルム、2,2000mm×2,500mmの大型ガラスの搬送を実現 ・CCDカメラを搭載した高精度アライメント機能、任意角度への回転機構に対応 ２．ステージで搬送する ・平面度20μmのフラットステージ、静電気対策に有効なピンステージをラインナップ ・ピッチング精度±0.05°、ヨーイング精度±0.02°の高精度搬送に対応 ３．SCARAで搬...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社