ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し 低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。 さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。 半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。 【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

UV装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

UV装置は、紫外線(UV)を用い、基板表面の有機物を除去する為の装置です。 【特長】 ■自社製低圧水銀ランプにより発生する185nm、254nm波長の紫外線効果により 　基板表面の有機性汚れを除去します。 ■ランプ寿命は6000時間保証。低ランニングコストを実現。 ※詳細は資料請求し...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜTSPなのか

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

。 大容量の保護の場合は圧倒的にTSPの方が費用対効果が大きいため、 近年電気二重層キャパシター方式のTPSが選定されています。 【選定例】 ■保護時間（分単位で必要） 　瞬時電圧低下発生時の保護時間がフェイルセーフの関係で15～30分必要 　→UPSを選定 ■純粋な瞬時電圧低下の保護（2秒以下の保護時間） 　→TSPを選定 　単相の5kVA以上または3相製品はイニシャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。 【特長】 ■RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■省フットプリント ■2周波独立印加方式 ■超低温冷却ステージ マルチチャンバ仕様や、角基板向け、各種オーダーメイドも製作可能です。 ※PDF資料も合わせてご覧ください。 ※...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

● ワンタッチ操作のみで特別な操作が不要です。 ● 設置スペースが小さく場所を選びません。 ● 試料はφ4インチまで対応可能。 ● 専用機であるため低価格。 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供して...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下の年間発生数

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

北陸地方のある工場での1年間の瞬時電圧低下発生状態は全て 電圧低下率20％以上で合計20回発生しており、瞬時電圧低下継続時間は 41.6m秒～115.23m秒です。 1需要家あたりに発生する瞬低は電圧低下度20％以上の瞬低で ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、 マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下とは？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

瞬時電圧低下とは、送電線への落雷または送電事故により瞬時に （0.07～2秒間）電圧が低下する状態を言います。 落雷によるものは自然現象であり、無くなることはありません。 『TSP』は、瞬時電圧低下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】TSPとは

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

通常は商用電力をSCRを介し負荷側へ供給する時に電気二重層キャパシター （EDLC）に充電しましが、瞬時電圧低下発生時は検出回路により2msec以内に 切替を行い、電気二重層キャパシター（EDLC）に充電されたエネルギーを インバーターで交流に変換した交流出力を負荷側へ供給します。 ※詳しくはお気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー